선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2022-0175464 (2022-12-15) | |
공개번호 | 10-2024-0092769 (2024-06-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220175464 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2022-12-15) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명은 2가지 이상의 임피던스를 사용하는 공정에서 임피던스 변화가 큰 경우 매칭 네트워크의 가변 캐패시터에 릴레이 스위치를 병렬 연결하여 기존보다 월등히 빠르게 임피던스 전환이 가능한 RF 정합장치에 관한 것이다.
RF 제너레이터와 공정 챔버 사이에 설치되는 매칭 네트워크에 있어서, 상기 메칭 네트워크에 설치되는 가변 캐패시터(Variable Vacuum Capacitor)에 릴레이 스위치가 병렬로 연결되는 것을 특징으로 하는 멀티 임피던스를 빠르게 매칭하는 RF 정합장치.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.