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연합인증

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화학 결합법 및 접합 구조체 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/20
  • B23K-020/00
  • B23K-020/14
  • H01L-023/00
출원번호 10-2022-7003066 (2022-01-26)
공개번호 10-2022-0056172 (2022-05-04)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2019-162065 (2019-09-05);일본(JP) JP-P-2020-098031 (2020-06-04)
국제출원번호 PCT/JP2020/033471 (2020-09-03)
국제공개번호 WO 2021/045163 (2021-03-11)
번역문제출일자 2022-01-26
DOI http://doi.org/10.8080/1020227003066
발명자 / 주소
  • 시마츠 다케히토 / 일본 ******* 미야기켄 센다이시 아오바쿠 가타히라 *쵸메 *반 *고 고쿠리츠다이가쿠호오진 도호쿠 다이가쿠 내
  • 우오모토 미유키 / 일본 ******* 미야기켄 센다이시 아오바쿠 가타히라 *쵸메 *반 *고 고쿠리츠다이가쿠호오진 도호쿠 다이가쿠 내
  • 미야모토 가즈오 / 일본 ******* 사이타마켄 사이타마시 이와츠키쿠 나미키 *쵸메 **반 **고 가부시키가이샤 무사시노 엔지니어링 내
  • 미야모토 요시카즈 / 일본 ******* 사이타마켄 사이타마시 이와츠키쿠 나미키 *쵸메 **반 **고 가부시키가이샤 무사시노 엔지니어링 내
  • 가토오 노부히코 / 일본 ******* 가나가와켄 가와사키시 아사오쿠 구리기 *쵸메 *반 *고 캐논 아네르바 가부시키가이샤 내
  • 모리와키 다카유키 / 일본 ******* 가나가와켄 가와사키시 아사오쿠 구리기 *쵸메 *반 *고 캐논 아네르바 가부시키가이샤 내
  • 사이토오 다카유키 / 일본 ******* 가나가와켄 가와사키시 아사오쿠 구리기 *쵸메 *반 *고 캐논 아네르바 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소
  • 도호쿠 다이가쿠 / 일본 미야기켄 센다이시 아오바쿠 가타히라 *쵸메 *반 *고
  • 캐논 아네르바 가부시키가이샤 / 일본 가나가와켄 가와사키시 아사오쿠 구리기 *쵸메 *반 *고
대리인 / 주소
  • 장수길; 이중희
법적상태 공개

초록

접합면에 형성한 산화물을 포함하는 접합막에 의해 화학 결합을 행한다.진공 용기 내에 있어서, 평활면을 갖는 2개의 기체 각각의 상기 평활면에 아몰퍼스 산화물 박막을 형성함과 함께, 상기 2개의 기체에 형성된 상기 아몰퍼스 산화물 박막끼리가 접촉하도록 상기 2개의 기체를 중첩함으로써, 상기 아몰퍼스 산화물 박막의 접합 계면에 원자 확산을 수반한 화학 결합을 발생시켜서 상기 2개의 기체를 접합한다.

대표청구항

진공 용기 내에 있어서, 평활면을 갖는 2개의 기체 각각의 상기 평활면에 아몰퍼스 산화물 박막을 형성함과 함께, 상기 2개의 기체에 형성된 상기 아몰퍼스 산화물 박막끼리가 접촉하도록 상기 2개의 기체를 중첩함으로써, 상기 아몰퍼스 산화물 박막의 접합 계면에 화학 결합을 발생시켜서 상기 2개의 기체를 접합하는 것을 특징으로 하는, 화학 결합법.

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