초록 ▼

본 발명은 샘플의 표면을 평가하기 위한 원자간력 현미경에 관한 것으로, 원자간력 현미경은 고정 방식으로 장착된 샘플을 수용하기에 적합한 제 1 영역을 갖는, 샘플 홀더, 상기 샘플의 표면을 대면하게 위치 설정될 수 있는 팁을 갖는, 프로브로서, 상기 현미경은 표면에 대해 팁의 위치의 조정을 허용하도록 구성된, 프로브, 및 지지부를 포함하고, 상기 샘플 홀더는 제 1 영역으로부터 분리되고 지지부에 대해 고정되는 적어도 하나의 영역을 가지며, 상기 샘플 홀더는 제 2 영역에 대해 제 1 영역의 상대적 이동을 허용하도록 변형 가능하고 상

본 발명은 샘플의 표면을 평가하기 위한 원자간력 현미경에 관한 것으로, 원자간력 현미경은 고정 방식으로 장착된 샘플을 수용하기에 적합한 제 1 영역을 갖는, 샘플 홀더, 상기 샘플의 표면을 대면하게 위치 설정될 수 있는 팁을 갖는, 프로브로서, 상기 현미경은 표면에 대해 팁의 위치의 조정을 허용하도록 구성된, 프로브, 및 지지부를 포함하고, 상기 샘플 홀더는 제 1 영역으로부터 분리되고 지지부에 대해 고정되는 적어도 하나의 영역을 가지며, 상기 샘플 홀더는 제 2 영역에 대해 제 1 영역의 상대적 이동을 허용하도록 변형 가능하고 상기 현미경은 제 2 영역에 대해 제 1 영역의 이동을 검출할 수 있는 검출기를 포함한다.

대표청구항 ▼

샘플(2)의 표면(9)을 평가하기 위한 원자간력 현미경(atomic force microscope; 1)으로서,- 제 1 영역(4)에 대해 고정 장착된 상기 샘플(2)을 수용하도록 구성된 상기 제 1 영역(4)을 포함하는, 샘플 홀더(3),- 상기 샘플(2)의 표면(9)을 대면하도록 위치 설정되도록 구성된 팁(13)을 포함하는 프로브(probe; 5)로서, 상기 현미경(1)은 상기 표면(9)에 대해 상기 팁(13)의 위치의 조정을 허용하도록 구성된, 프로브(5),- 지지부(6)를 포함하는, 원자간력 현미경(1)에 있어서,- 상기 샘

샘플(2)의 표면(9)을 평가하기 위한 원자간력 현미경(atomic force microscope; 1)으로서,- 제 1 영역(4)에 대해 고정 장착된 상기 샘플(2)을 수용하도록 구성된 상기 제 1 영역(4)을 포함하는, 샘플 홀더(3),- 상기 샘플(2)의 표면(9)을 대면하도록 위치 설정되도록 구성된 팁(13)을 포함하는 프로브(probe; 5)로서, 상기 현미경(1)은 상기 표면(9)에 대해 상기 팁(13)의 위치의 조정을 허용하도록 구성된, 프로브(5),- 지지부(6)를 포함하는, 원자간력 현미경(1)에 있어서,- 상기 샘플 홀더(3)는 상기 제 1 영역(4)과 구별되고 상기 지지부(6)에 대해 고정되는 적어도 제 2 영역(7)을 갖고, 상기 샘플 홀더(3)는 상기 제 2 영역(7)에 대한 상기 제 1 영역(4)의 상대 변위를 승인하도록 변형 가능하고,- 상기 현미경은 상기 제 2 영역(7)에 대한 상기 제 1 영역(4)의 변위를 검출하도록 구성된 검출기(8)를 포함하고,상기 현미경(1)은 상기 검출기(8)에 의한 상기 샘플 홀더(3)의 상기 제 1 영역(4)의 변위의 측정에 기초하여 상기 표면(9)과 상기 팁(13) 사이의 상호 작용을 평가하도록 구성된 것을 특징으로 하는, 원자간력 현미경(1).