[특허]유동성 CVD 막에 대한 표면 거칠기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C23C-016/02 C23C-016/04 C23C-016/34 C23C-016/40 H01L-021/02
출원번호	10-2022-7005281 (2022-02-16)
공개번호	10-2022-0038099 (2022-03-25)
우선권정보	미국(US) 62/877,431 (2019-07-23);미국(US) 16/929,357 (2020-07-15)
국제출원번호	PCT/US2020/042473 (2020-07-17)
국제공개번호	WO 2021/016063 (2021-01-28)
번역문제출일자	2022-02-16
DOI	http://doi.org/10.8080/1020227005281
발명자 / 주소	구오, 진뤼 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 리앙, 징메이 / 미국 * 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 자, 프라켓 피. / 미국 * 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 장, 리 / 미국 * 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
출원인 / 주소	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
대리인 / 주소	특허법인 남앤남
법적상태	공개

초록

유동성 CVD 막 증착 전에 기판 표면 상에 표면 처리를 사용함으로써 평활한 초박형 유동성 CVD 막을 형성하기 위한 방법들은 균일성 및 전체 막 평활도를 개선한다.유동성 CVD 막은 평활한 유동성 CVD 막을 형성하기 위한 임의의 적절한 경화 프로세스에 의해 경화될 수 있다.

대표청구항

프로세싱 방법으로서,평활한 전처리된 기판 표면을 형성하기 위해 플라즈마로 기판 표면을 전처리하는 단계;상기 전처리된 기판 표면을 전구체 및 반응물에 노출시킴으로써, 상기 전처리된 기판 표면 상에 유동성 CVD 막을 형성하는 단계; 및 상기 유동성 CVD 막을 경화시키는 단계를 포함하는,프로세싱 방법.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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