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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7021832 (2022-06-27) | |
공개번호 | 10-2023-0017157 (2023-02-03) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2020-095296 (2020-06-01) | |
국제출원번호 | PCT/JP2021/020529 (2021-05-28) | |
국제공개번호 | WO 2021/246340 (2021-12-09) | |
번역문제출일자 | 2022-06-27 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227021832 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
성막 챔버 내에 백금족 금속을 포함하는 원료 가스를 도입하고, 상기 성막 챔버 내에 수용된 기판의 표면에 백금족 금속 함유막을 성막한 후에, 성막 챔버 내에 존재하는 백금족 금속을 회수하는 방법으로서, (ⅰ) 상기 기판이 취출된 상기 성막 챔버 내에, 불소를 포함하는 클리닝 가스를 도입하는 공정과, (ⅱ) 소다 라임, 소석회 및 CaO로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개로 이루어지는 포착제를 유지하는 포착 용기 내에, 상기 성막 챔버로부터 배출되는 상기 클리닝 가스를 도입하는 공정을 구비한다.
성막 챔버 내에 백금족 금속을 포함하는 원료 가스를 도입하고, 상기 성막 챔버 내에 수용된 기판의 표면에 백금족 금속 함유막을 성막한 후에, 상기 성막 챔버 내에 존재하는 백금족 금속을 회수하는 방법으로서,(ⅰ) 상기 기판이 취출된 상기 성막 챔버 내에, 불소를 포함하는 클리닝 가스를 도입하는 공정과,(ⅱ) 소다 라임, 소석회 및 CaO로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개로 이루어지는 포착제를 유지하는 포착 용기 내에, 상기 성막 챔버로부터 배출되는 상기 클리닝 가스를 도입하는 공정을 구비하는, 백금족 금속의 회수 방법.
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