[특허]백금족 금속의 회수 방법, 백금족 금속 함유막의 제조 방법 및 성막 장치

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C22B-003/06 C22B-011/00 C22B-007/00 C23C-016/16 C23C-016/44
출원번호	10-2022-7021832 (2022-06-27)
공개번호	10-2023-0017157 (2023-02-03)
우선권정보	일본(JP) JP-P-2020-095296 (2020-06-01)
국제출원번호	PCT/JP2021/020529 (2021-05-28)
국제공개번호	WO 2021/246340 (2021-12-09)
번역문제출일자	2022-06-27
DOI	http://doi.org/10.8080/1020227021832
발명자 / 주소	마나베, 토시키 / 일본국 ******* 효고켄 아마가사키시 쯔기야 쵸메 - 이와타니 산교 가부시키가이샤 내 이즈미, 코이치 / 일본국 ***** 효고켄 아마가사키시 쯔기야 쵸메 - 이와타니 산교 가부시키가이샤 내 쇼죠, 타다시 / 일본국 ***** 효고켄 아마가사키시 쯔기야 쵸메 - 이와타니 산교 가부시키가이샤 내 나가야마, 료타로 / 일본국 ***** 오사카후 오사카시 츄오쿠 혼마치 쵸메 반 *고 이와타니 산교 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소	이와타니 산교 가부시키가이샤 / 일본국 오사카후 오사카시 츄오쿠 혼마치 쵸메 반 *고
대리인 / 주소	특허법인 무한
법적상태	공개

초록

성막 챔버 내에 백금족 금속을 포함하는 원료 가스를 도입하고, 상기 성막 챔버 내에 수용된 기판의 표면에 백금족 금속 함유막을 성막한 후에, 성막 챔버 내에 존재하는 백금족 금속을 회수하는 방법으로서, (ⅰ) 상기 기판이 취출된 상기 성막 챔버 내에, 불소를 포함하는 클리닝 가스를 도입하는 공정과, (ⅱ) 소다 라임, 소석회 및 CaO로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개로 이루어지는 포착제를 유지하는 포착 용기 내에, 상기 성막 챔버로부터 배출되는 상기 클리닝 가스를 도입하는 공정을 구비한다.

대표청구항

성막 챔버 내에 백금족 금속을 포함하는 원료 가스를 도입하고, 상기 성막 챔버 내에 수용된 기판의 표면에 백금족 금속 함유막을 성막한 후에, 상기 성막 챔버 내에 존재하는 백금족 금속을 회수하는 방법으로서,(ⅰ) 상기 기판이 취출된 상기 성막 챔버 내에, 불소를 포함하는 클리닝 가스를 도입하는 공정과,(ⅱ) 소다 라임, 소석회 및 CaO로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개로 이루어지는 포착제를 유지하는 포착 용기 내에, 상기 성막 챔버로부터 배출되는 상기 클리닝 가스를 도입하는 공정을 구비하는, 백금족 금속의 회수 방법.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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