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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7023691 (2022-07-11) | |
공개번호 | 10-2022-0133870 (2022-10-05) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2020-016029 (2020-02-03) | |
국제출원번호 | PCT/JP2020/047336 (2020-12-18) | |
국제공개번호 | WO 2021/157218 (2021-08-12) | |
번역문제출일자 | 2022-07-11 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227023691 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
붙임 후의 열처리에 의한 파손을 억제할 수 있는 복합 기판의 제조 방법, 그리고 당해 제조 방법에 의해 제조된 복합 기판을 제공한다. 본 발명에 관한 복합 기판의 제조 방법은 탄탈산리튬 웨이퍼 혹은 니오브산리튬 웨이퍼인 압전체 웨이퍼와 지지 웨이퍼가 붙여진 복합 기판을 제조하는 방법이다. 이 제조 방법은 압전체 웨이퍼와 지지 웨이퍼를 붙이는 공정과, 붙이는 공정에서 붙여진 웨이퍼에 대해, 압전체 웨이퍼의 비붙임면이 경면으로 된 상태에서 열처리를 행하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
탄탈산리튬 웨이퍼 혹은 니오브산리튬 웨이퍼인 압전체 웨이퍼와 지지 웨이퍼가 붙여진 복합 기판을 제조하는 방법으로서,상기 압전체 웨이퍼와 상기 지지 웨이퍼를 붙이는 공정과,상기 붙이는 공정에서 붙여진 웨이퍼에 대해, 상기 압전체 웨이퍼의 비(非)붙임면이 경면으로 된 상태에서 열처리를 행하는 공정을 구비하는 복합 기판의 제조 방법.
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