IPC분류정보
국가/구분 |
한국(KR)/등록특허
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 |
10-2022-7026139
(2022-07-27)
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공개번호 |
10-2022-0121862
(2022-09-01)
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등록번호 |
10-2673527-0000
(2024-06-04)
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우선권정보 |
프랑스(FR) 1915741 (2019-12-30) |
국제출원번호 |
PCT/EP2020/087927
(2020-12-28)
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국제공개번호 |
WO 2021/136756
(2021-07-08)
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번역문제출일자 |
2022-07-27
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DOI |
http://doi.org/10.8080/1020227026139
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발명자
/ 주소 |
- 발란드라스, 실베인
/ * 휘 알렉산더 에스티그나르드, ***** 브장송, 프랑스
- 쿠르종, 에밀리
/ **휘 드 라 펠리, ***** 프랑수아 프랑스
- 베르나르, 플로랑
/ *휘 그레니어, ***** 브장송, 프랑스
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출원인 / 주소 |
- 소이텍 / 프랑스, ***** 베르낭, 빠크 테크놀로지크 데 퐁텐느, 슈멩 데 프랑크
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 |
있음 (2022-09-20) |
심사진행상태 |
등록결정(일반) |
법적상태 |
등록 |
초록
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본 발명은 특히 단일 포트 공진기를 위한 가로 모드 억제 수단을 가지는 트랜스듀서 구조체에 관한 것으로, 압전 기판(120, 170), 및 압전 기판(120, 170) 상에 형성된 적어도 한 쌍의 서로 맞물린 빗살 전극(102, 112)을 포함한다. 제1 빗살 전극(102)은 제1 버스 바(108) 및 더 짧은 더미 전극 핑거(106)와 교번하는 복수의 전극 핑거(104)를 포함하고, 핑거들은 둘 다 제1 버스 바(108)로부터 연장된다. 제2 빗살 전극(112)은 제2 버스 바(118) 및 제2 버스 바(118)로부터 연장되는 복
본 발명은 특히 단일 포트 공진기를 위한 가로 모드 억제 수단을 가지는 트랜스듀서 구조체에 관한 것으로, 압전 기판(120, 170), 및 압전 기판(120, 170) 상에 형성된 적어도 한 쌍의 서로 맞물린 빗살 전극(102, 112)을 포함한다. 제1 빗살 전극(102)은 제1 버스 바(108) 및 더 짧은 더미 전극 핑거(106)와 교번하는 복수의 전극 핑거(104)를 포함하고, 핑거들은 둘 다 제1 버스 바(108)로부터 연장된다. 제2 빗살 전극(112)은 제2 버스 바(118) 및 제2 버스 바(118)로부터 연장되는 복수의 전극 핑거(114)를 포함한다. 제1 버스 바(108)의 더미 전극 핑거(106)는 제2 버스 바(118)의 전극 핑거(114)와 마주하고, 제1 갭(110a)에 의해 전극 핑거(114)로부터 분리된다. 본 발명의 트랜스듀서 구조체는, 가로 모드 억제층(122, 132, 222, 232, 422, 432)을 더 포함한다. 가로 모드 억제층은, 부분적으로 제1 갭(110a) 아래에 제공되고, 제1 및 제2 전극(102, 112)의 교대 전극 핑거(104, 114) 아래의 중앙 영역(136)에서 유도파의 위상 속도에 비해서 가로 모드 억제층(122, 132, 222, 232, 422, 432)의 영역에서 유도파의 위상 속도가 더 작도록 선택된다. 본 발명은 또한 전술한 바와 같은 트랜스듀서 구조체를 제조하는 방법, 및 전술한 바와 같은 적어도 하나의 구조체를 포함하는 단일 포트 공진기에 관한 것이다.
대표청구항
▼
가로 모드(transverse mode) 억제 수단을 가지는 트랜스듀서 구조체에 있어서, 압전 기판(120, 420); 및 상기 압전 기판(120, 170) 위에 형성된, 제1 빗살 전극(102)과 제2 빗살 전극(112)을 포함하는, 적어도 한 쌍의 서로 맞물린 빗살 전극(102, 112);을 포함하며, 상기 제1 빗살 전극(102)은, 제1 버스 바(108); 및 더 짧은 더미 전극 핑거(106)와 교번하는 복수의 전극 핑거(104);를 포함하고, 상기 복수의 전극 핑거(104) 및 더 짧은 더미 전극 핑거(106)는, 상기 제
가로 모드(transverse mode) 억제 수단을 가지는 트랜스듀서 구조체에 있어서, 압전 기판(120, 420); 및 상기 압전 기판(120, 170) 위에 형성된, 제1 빗살 전극(102)과 제2 빗살 전극(112)을 포함하는, 적어도 한 쌍의 서로 맞물린 빗살 전극(102, 112);을 포함하며, 상기 제1 빗살 전극(102)은, 제1 버스 바(108); 및 더 짧은 더미 전극 핑거(106)와 교번하는 복수의 전극 핑거(104);를 포함하고, 상기 복수의 전극 핑거(104) 및 더 짧은 더미 전극 핑거(106)는, 상기 제1 버스 바(108)에서 연장되며, 상기 제2 빗살 전극(112)은, 제2 버스 바(118); 및 상기 제2 버스 바(118)로부터 연장되는 복수의 전극 핑거(114);를 포함하며, 상기 제1 버스 바(108)의 더미 전극 핑거(106)는, 상기 제2 버스 바(118)의 전극 핑거(114)와 마주하되, 제1 갭(110a)에 의해 제2 버스 바의 전극 핑거(114)로부터 분리되며, 상기 제2 빗살 전극(112)은, 상기 전극 핑거(114)와 교번하는 더 짧은 더미 전극 핑거(116);를 더 포함하며, 상기 제2 버스 바(118)의 더미 전극 핑거(116)는, 상기 제1 버스 바(108)의 전극 핑거(104)와 마주하되, 제2 갭(110b)에 의해 제1 버스 바의 전극 핑거(104)로부터 분리되고, 상기 트랜스듀서 구조체는. 제1 가로 모드 억제층(122, 132, 222, 232, 422, 432); 및 제2 가로 모드 억제층(122, 132, 222, 232, 422, 432); 을 더 포함하며, 상기 제1 가로 모드 억제층(122, 132, 222, 232, 422, 432)은, 제1 갭(110a) 아래에 부분적으로 제공되고, 제1 및 제2 빗살 전극(102, 112)의 교번하는 전극 핑거(104, 114) 아래의 중앙 영역(136)에서의 유도파의 위상 속도와 비교할 때, 제1 가로 모드 억제층(122, 132, 222, 232, 422, 432) 영역에서의 유도파의 위상 속도가 더 작도록 선택되고, 상기 제2 가로 모드 억제층(122, 132, 222, 232, 422, 432) 은, 제2 갭(110b) 아래에서 적어도 부분적으로 연장되고, 제1 및 제2 가로 모드 억제층(122, 132, 222, 232, 422, 432) 사이에서 제1 및 제2 빗살 전극(102, 112)의 교번하는 전극 핑거(104, 114) 아래의 중앙 영역(136)에서의 유도파의 위상 속도와 비교할 때, 제2 가로 모드 억제층(122, 132, 222, 232, 422, 432) 영역에서의 유도파의 위상 속도가 더 작도록 선택되며, 상기 제1 가로 모드 억제층과 상기 제2 가로 모드 억제층(122, 132, 222, 232, 422, 432)은 서로 다른 형상을 가지는 것 을 특징으로 하는 트랜스듀서 구조체.
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