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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2023-7015280 (2023-05-04) | |
공개번호 | 10-2023-0082660 (2023-06-08) | |
우선권정보 | 독일(DE) 10 2020 126 597.2 (2020-10-09) | |
국제출원번호 | PCT/EP2021/077333 (2021-10-05) | |
국제공개번호 | WO 2022/073951 (2022-04-14) | |
번역문제출일자 | 2023-05-04 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020237015280 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명은 제1 부분의 층들 및 제1 부분의 층들 상에 증착되는 제2 부분(19)을 갖는 다층 구조(21)로 기판(22)을 코팅하기 위한 디바이스 및 방법에 관한 것이다.제2 부분의 적어도 하나의 층의 증착 동안, 적어도 하나의 광 측정 장치(10, 11)는 층을 포함하는 기판(22)의 넓은 면 상에서 방사율 값(E) 및 반사율 값(R)을 측정한다.이전에 결정된 보정 값(γ)을 사용해, 기판(22)의 넓은 면의 온도의 실제 값(TC)이 계산되고, 실제 값(TC)을 사용해, 기판(22)의 넓은 면의 온도의 목표 값(TS)에 대해 기판
다층 구조(21)로 기판(22)을 코팅하는 방법으로서,상기 다층 구조는 제1 부분(18)의 층들 및 상기 제1 부분(18)의 층들 위에 증착된 제2 부분(19)의 층들을 포함하며,상기 제2 부분의 적어도 하나의 층의 상기 증착 동안, 상기 층을 갖는 상기 기판(22)의 넓은 면 위의 방사율 값(emissivity value)(E) 및 반사율 값(reflectance value)(R)이 적어도 하나의 광 측정 디바이스(10, 11)에 의해 측정되며, 상기 기판(22)의 상기 넓은 면의 온도의 실제 값(TC)은 이전에 결정된 보정 값(
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