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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2023-7026465 (2023-08-02) | |
공개번호 | 10-2023-0119043 (2023-08-14) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/424,422 (2016-11-19);미국(US) 15/623,503 (2017-06-15) | |
국제출원번호 | PCT/US2017/061927 (2017-11-16) | |
국제공개번호 | WO 2018/093988 (2018-05-24) | |
번역문제출일자 | 2023-08-02 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020237026465 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
기판의 표면 프로파일을 결정하기 위한 시스템들, 장치들 및 방법들이 제공된다.일 실시예에서, 방법은, 수직 성분/프로파일을 갖는 신호를 기판의 제1 측을 따른 복수의 위치들로부터 기판의 표면에 걸쳐 투사하는 단계, 투사된 신호들을 기판의 표면에 걸쳐 복수의 각각의 위치들 각각에서 캡처하는 단계, 및 캡처된 신호들을 사용하여 기판에 대한 표면 프로파일을 결정하는 단계를 포함한다.프로세스는, 기판의 각각의 측들을 따라 미리 결정된 투사 및 캡처 위치들을 갖는 제어기를 사용하여 자동화될 수 있고, 여기서 기판의 표면 프로파일은 캡처된 신
기판에 대한 표면 프로파일을 결정하기 위한 방법으로서,수직 프로파일을 갖는 신호를, 상기 기판의 최상부 표면에 걸쳐 그리고 상기 기판의 에지를 향해, 상기 기판의 일측을 따라 제1 위치에서 제1 송신기를 사용하여 투사하는 단계 - 상기 신호의 수직 프로파일은 기판 지지부의 표면에 수직임 -;상기 투사된 신호를, 상기 제1 송신기의 바로 맞은 편인, 상기 기판의 제2 측을 따라 위치되는 제1 수신기를 사용하여 캡처하는 단계;상기 제1 송신기를, 상기 기판의 상기 최상부 표면에 실질적으로 평행한 방향으로 상기 기판의 상기 제1 측을 따
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