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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2023-7027528 (2023-08-14) | |
공개번호 | 10-2023-0128125 (2023-09-01) | |
우선권정보 | 미국(US) 63/138,263 (2021-01-15) | |
국제출원번호 | PCT/US2021/062036 (2021-12-06) | |
국제공개번호 | WO 2022/154901 (2022-07-21) | |
번역문제출일자 | 2023-08-14 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020237027528 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
금속 함유 재료를 에칭하기 위한 방법이 제공된다.금속 함유 재료는 금속 함유 재료의 적어도 일부를 금속 할라이드 재료로 변환하도록 할로겐 함유 유체 또는 플라즈마에 노출된다.금속 할라이드 재료는 리간드 함유 유체 또는 플라즈마에 노출되고, 여기서 금속 할라이드 재료의 적어도 일부는 금속 할라이드 리간드 착체 (ligand complex) 로 형성된다.금속 할라이드 리간드 착체의 적어도 일부는 기화된다.
금속 함유 재료를 에칭하기 위한 방법에 있어서,금속 함유 재료의 적어도 일부를 금속 할라이드 재료로 변환하도록 상기 금속 함유 재료를 할로겐 함유 유체 또는 플라즈마에 노출시키는 단계;상기 금속 할라이드 재료를 리간드 함유 유체 또는 플라즈마에 노출시키는 단계로서, 상기 금속 할라이드 재료의 적어도 일부는 금속 할라이드 리간드 착체 (ligand complex) 로 형성되는, 상기 금속 할라이드 재료를 노출시키는 단계; 및상기 금속 할라이드 리간드 착체의 적어도 일부를 기화시키는 단계를 포함하는, 금속 함유 재료 에칭 방법.
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