[특허]금속 에칭

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H10N-050/01 H10N-050/10
출원번호	10-2023-7027528 (2023-08-14)
공개번호	10-2023-0128125 (2023-09-01)
우선권정보	미국(US) 63/138,263 (2021-01-15)
국제출원번호	PCT/US2021/062036 (2021-12-06)
국제공개번호	WO 2022/154901 (2022-07-21)
번역문제출일자	2023-08-14
DOI	http://doi.org/10.8080/1020237027528
발명자 / 주소	판, 이웬 / 미국, ***** 캘리포니아, 프레몬트, 엠/에스 씨에이-, 쿠싱파크웨이 *, 램 리써치 코포레이션 내 양, 웬빙 / 미국, *** 캘리포니아, 프레몬트, 엠/에스 씨에이-, 쿠싱파크웨이 *, 램 리써치 코포레이션 내 린, 란 / 미국, *** 캘리포니아, 프레몬트, 엠/에스 씨에이-, 쿠싱파크웨이 *, 램 리써치 코포레이션 내 탄, 사만다 시암화 / 미국, *** 캘리포니아, 프레몬트, 엠/에스 씨에이-, 쿠싱파크웨이 *, 램 리써치 코포레이션 내 와이드먼, 티모시 윌리엄 / 미국, *** 캘리포니아, 프레몬트, 엠/에스 씨에이-, 쿠싱파크웨이 *, 램 리써치 코포레이션 내 무케르지, 타말 / 미국, *** 캘리포니아, 프레몬트, 엠/에스 씨에이-, 쿠싱파크웨이 ***, 램 리써치 코포레이션 내
출원인 / 주소	램 리써치 코포레이션 / 미국 *** 캘리포니아주 프레몬트 쿠싱 파크웨이 **
대리인 / 주소	특허법인인벤싱크
법적상태	공개

초록

금속 함유 재료를 에칭하기 위한 방법이 제공된다.금속 함유 재료는 금속 함유 재료의 적어도 일부를 금속 할라이드 재료로 변환하도록 할로겐 함유 유체 또는 플라즈마에 노출된다.금속 할라이드 재료는 리간드 함유 유체 또는 플라즈마에 노출되고, 여기서 금속 할라이드 재료의 적어도 일부는 금속 할라이드 리간드 착체 (ligand complex) 로 형성된다.금속 할라이드 리간드 착체의 적어도 일부는 기화된다.

대표청구항

금속 함유 재료를 에칭하기 위한 방법에 있어서,금속 함유 재료의 적어도 일부를 금속 할라이드 재료로 변환하도록 상기 금속 함유 재료를 할로겐 함유 유체 또는 플라즈마에 노출시키는 단계;상기 금속 할라이드 재료를 리간드 함유 유체 또는 플라즈마에 노출시키는 단계로서, 상기 금속 할라이드 재료의 적어도 일부는 금속 할라이드 리간드 착체 (ligand complex) 로 형성되는, 상기 금속 할라이드 재료를 노출시키는 단계; 및상기 금속 할라이드 리간드 착체의 적어도 일부를 기화시키는 단계를 포함하는, 금속 함유 재료 에칭 방법.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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