선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2024-7004707 (2024-02-07) | |
공개번호 | 10-2024-0033009 (2024-03-12) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2021-136855 (2021-08-25) | |
국제출원번호 | PCT/JP2022/027711 (2022-07-14) | |
국제공개번호 | WO 2023/026721 (2023-03-02) | |
번역문제출일자 | 2024-02-07 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020247004707 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2024-02-07) | |
법적상태 | 공개 |
반도체 제조 공정에 있어서 사용되는 중수소 또는 그 화합물을 회수하고, 재이용하는 것이 가능한 중수소 회수 방법 및 중수소 회수 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은 반도체 제조 공정에 있어서의 중수소 가스를 포함하는 배기 가스 중에 중수를 발생시키는 중수 발생 공정을 포함하는, 중수소 회수 방법을 제공한다.
반도체 제조 공정에 있어서의 중수소 가스를 포함하는 배기 가스 중에 중수를 발생시키는 중수 발생 공정을 포함하는, 중수소 회수 방법.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.