초록

본 고안은 용조(bath, 10)로부터 소정 용액을 분사 공급하는 용액 공급 장치에 있어서, 초음파를 발생시키는 초음파 발생수단(20); 상기 초음파 발생수단(20)으로부터 발생된 초음파를 상기 용액 공급 장치의 공급로 중 적어도 어느 한 소정 부위에 전달하는 초음파 전달수단(21)을 구비하는 것을 특징으로 하여, 용액의 종류에 관계없이 발생되는 기포를 효과적으로 제거시키는 특유의 효과가 있는 기포 제거 기능을 갖는 용액 공급 장치에 관한 것이다.

대표청구항

용조(bath)로부터 소정용액을 분사 공급하는 용액 공급 장치에 있어서,초음파를 발생시키는 초음파 발생수단;상기 초음파 발생수단으로부터 발생된 초음파를 상기 용액 공급장치의 공급로 중 적어도 어느 한 소정 부위에 전달하는 초음파 전달수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기포 제거 기능을 갖는 용액 공급 장치.

용조(bath)로부터 소정용액을 분사 공급하는 용액 공급 장치에 있어서,초음파를 발생시키는 초음파 발생수단;상기 초음파 발생수단으로부터 발생된 초음파를 상기 용액 공급장치의 공급로 중 적어도 어느 한 소정 부위에 전달하는 초음파 전달수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기포 제거 기능을 갖는 용액 공급 장치.