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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개실용신안
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/203
출원번호 20-1994-0031673 (1994-11-28)
공개번호 20-1996-0019078 (1996-06-19)
DOI http://doi.org/10.8080/2019940031673
발명자 / 주소
  • 김보성 / 경기도이천군부발읍아미리산***-*번지
  • 김관욱 / 경기도이천군부발읍아미리산***-*번지
  • 안정훈 / 경기도이천군부발읍아미리산***-*번지
출원인 / 주소
  • 주식회사 하이닉스반도체 / 경기 이천시 부발읍 아미리 산***-*
대리인 / 주소
  • 이창훈; 최홍순 (LEE, Chang Hoon)
  • 서울 강남구 역삼동 ***-**(오리진특허법률사무소); 서울시 금천구 가산동 ***-* 월드메르디앙 벤처센터 Ⅱ ***호(특허법인세신)
심사청구여부 있음 (1994-11-28)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

[청구범위]반응실인 쳄버와,상기 쳄버에 진공을 베공하는 통로인 진공라인과,상기 쳄버에 가스가 유입되는 통로인 가스라인 및 상기 가스라인에서 상기 쳄버로 유입되는 가스를 가열시키는 히터로 구성된 고진공의 쳄버를 구비한 장치에 있어서,상기 쳄버에 연결되어쳄버의 미립자를 퍼지하는 질소의 이동 통로인 질소라인과,상기 질소라인에 설치되어 질소의 흐름을 제어하는 밸브로 구성된 것을 특징으로 하는 퍼지장치

대표청구항

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