[특허]반도체용 화학용기의 잔량검출 장치

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[한국특허] 반도체용 화학용기의 잔량검출 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개실용신안
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/22
출원번호	20-1996-0004184 (1996-03-07)
공개번호	20-1997-0056054 (1997-10-13)
DOI	http://doi.org/10.8080/2019960004184
발명자 / 주소	안낙준 / 경기도 수원시 팔달구 우만동 **- 영남빌라 나동 *호 박병호 / 경기도 용인군 기흥읍 고매리 산 - 세원아파트 *동 *호
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매탄동 ***
대리인 / 주소	권석흠; 노민식; 이영필 (KWON, Suk Heum) 서울 강남구 역삼동 *- 서림빌딩*층 (유미특허법인); 서울 서초구 서초동 **- 청화빌딩 이영필 특허법률사무소; 서울 서초구 서초동 ***- (리앤목 특허법인)
심사청구여부	있음 (1996-03-07)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

[청구범위]B레벨 센서의 수광부와 발광부를 화학용기의 측벽에 설치하여 화학용기에 담겨진 화학액의 잔량이 소정레벨 이하로 되는 것을 감지하도록 된 반도체용 화학용기의 잔량검출 장치에 있어서, 상기화학용기의 무게를 감지하여 표시하는 무게 센서를 추가로 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 화학용기의 잔량검출 장치.

대표청구항

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이 특허에 인용된 특허 (1)

[일본] WEIGHING APPARATUS FOR CLEANING OF SEMICONDUCTOR | SATO MASATO
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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