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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1996-0004184 (1996-03-07) |
공개번호 | 20-1997-0056054 (1997-10-13) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019960004184 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1996-03-07) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
[청구범위]B레벨 센서의 수광부와 발광부를 화학용기의 측벽에 설치하여 화학용기에 담겨진 화학액의 잔량이 소정레벨 이하로 되는 것을 감지하도록 된 반도체용 화학용기의 잔량검출 장치에 있어서, 상기화학용기의 무게를 감지하여 표시하는 무게 센서를 추가로 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체용 화학용기의 잔량검출 장치.
대표청구항이 없습니다.
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