초록

본 고안은 종래 반도체 공정, 특히 화학 기상증착공정을 위한 가스 공급시스템에서 밸브 등의 가스 시스템에서의 하드웨어 에러시에 유독 가스 배출에 대한 대책을 보완하여 각 배출점별로 역류방지 밸브 등을 이용한 독립적인 배출구들을 형성하고 이들 배출구를 제어하는 밸브 등을 자동 및 수동의 이중 구조로 구성함에 의해 시스템의 신뢰도를 향상시키고 안전성을 높였으며, 이러한 전체 가스시스템을 제어패널상에서 한 눈에 제어할 수 있도록 한 것이다.

대표청구항 ▼

반도체 공정상에 필요한 유독 가스를 공급하고 사용된 가스를 배출하기 위한 가스장치에 채용되는 가스 안전장치에 있어서, 상기 가스 안전장치는가스실내부에서 공정실로 가스를 공급하는 가스라인상에 위치하는 밸브에 의해 구분되는 다수의 동작점과;상기 동작점의 복수개, 혹은 한개마다 존재하는 배출점과;상기 배출점마다 구성된 가스 배출라인을 포함하며;상기 가스배출라인은 각각 직렬연결된 수동밸브 및 역류방지용 밸브를 통해 전체 가스배출구로 연결되고;상기 다수의 자동밸브부를 제어하는 제어부 및 조작패널부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스안전시스템

반도체 공정상에 필요한 유독 가스를 공급하고 사용된 가스를 배출하기 위한 가스장치에 채용되는 가스 안전장치에 있어서, 상기 가스 안전장치는가스실내부에서 공정실로 가스를 공급하는 가스라인상에 위치하는 밸브에 의해 구분되는 다수의 동작점과;상기 동작점의 복수개, 혹은 한개마다 존재하는 배출점과;상기 배출점마다 구성된 가스 배출라인을 포함하며;상기 가스배출라인은 각각 직렬연결된 수동밸브 및 역류방지용 밸브를 통해 전체 가스배출구로 연결되고;상기 다수의 자동밸브부를 제어하는 제어부 및 조작패널부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스안전시스템.