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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1998-0003123 (1998-03-05) |
공개번호 | 20-1999-0037418 (1999-10-05) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019980003123 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1998-03-05) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 고안에 따른 절단용 절삭홈이 형성된 무허브형 다이싱쏘블레이드는 절단날의 외주연에 방사상으로 일정너비를 갖는 절삭홈이 형성되므로 무허브형 다이싱쏘블레이드의 절단된 칩의 배출이 용이하여 절삭속도가 향상되므로 작업성이 향상되고 냉각수의 유입이 용이하게 되어 절단날의 수명이 연장되며 칩의 배출이 용이하므로 치핑현상이 방지되어 웨이퍼의 절단불량이 현저하게 절감된다
무허브형 다이싱쏘블레이드에 있어서, 상기 무허브형 다이싱쏘블레이드의 본체 외주연부상에는 0.10∼0.5mm의 폭을 갖는 다수의 절삭홈이 방사상으로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼절단용 무허브형 다이싱쏘블레이드.
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