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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1999-0006790 (1999-04-23) |
공개번호 | 20-2000-0019934 (2000-11-25) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019990006790 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 고안은 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드에 관한 것으로, 종래에는 각 탐침이 인쇄회로기판에 삽입 고정되는 것으로, 상기 탐침이 웨이퍼에 접촉될 때에 칩이 파손되거나 또는 상기 탐침이 각각의 웨이퍼에 지속적으로 접촉됨에 따라 그 팁부가 닳아 안쪽으로 밀리면서 접촉불량이 발생되는 등 프로브카드의 수명이 단축되는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 소정의 와이어가 구비되는 인쇄회로기판과, 상기 와이어에 전기적으로 연결되고 그 팁부가 웨이퍼에 접촉되도록 일부가 노출되어 인쇄회로기판에 끼워지는 다수개의 탐침과, 상기 인쇄회로기판에 장착되어
소정의 와이어가 구비되는 인쇄회로기판과, 상기 와이어에 전기적으로 연결되고 그 팁부가 웨이퍼에 접촉되도록 일부가 노출되어 인쇄회로기판에 끼워지는 다수개의 탐침과, 상기 인쇄회로기판에 장착되어 상기한 각각의 탐침을 탄력적으로 지지하는 탄성부로 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드.
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