초록 ▼

본 고안은 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드에 관한 것으로, 종래에는 각 탐침이 인쇄회로기판에 삽입 고정되는 것으로, 상기 탐침이 웨이퍼에 접촉될 때에 칩이 파손되거나 또는 상기 탐침이 각각의 웨이퍼에 지속적으로 접촉됨에 따라 그 팁부가 닳아 안쪽으로 밀리면서 접촉불량이 발생되는 등 프로브카드의 수명이 단축되는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 소정의 와이어가 구비되는 인쇄회로기판과, 상기 와이어에 전기적으로 연결되고 그 팁부가 웨이퍼에 접촉되도록 일부가 노출되어 인쇄회로기판에 끼워지는 다수개의 탐침과, 상기 인쇄회로기판에 장착되어

본 고안은 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드에 관한 것으로, 종래에는 각 탐침이 인쇄회로기판에 삽입 고정되는 것으로, 상기 탐침이 웨이퍼에 접촉될 때에 칩이 파손되거나 또는 상기 탐침이 각각의 웨이퍼에 지속적으로 접촉됨에 따라 그 팁부가 닳아 안쪽으로 밀리면서 접촉불량이 발생되는 등 프로브카드의 수명이 단축되는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 소정의 와이어가 구비되는 인쇄회로기판과, 상기 와이어에 전기적으로 연결되고 그 팁부가 웨이퍼에 접촉되도록 일부가 노출되어 인쇄회로기판에 끼워지는 다수개의 탐침과, 상기 인쇄회로기판에 장착되어 상기한 각각의 탐침을 탄력적으로 지지하는 탄성부로 구성함으로써, 상기 탐침이 웨이퍼에 접촉될 때에 칩 또는 탐침이 파손되는 것을 방지함은 물론 그 탐침을 장기간 사용하더라도 접촉불량이 발생되지 않게 되는 효과가 있다.

대표청구항

소정의 와이어가 구비되는 인쇄회로기판과, 상기 와이어에 전기적으로 연결되고 그 팁부가 웨이퍼에 접촉되도록 일부가 노출되어 인쇄회로기판에 끼워지는 다수개의 탐침과, 상기 인쇄회로기판에 장착되어 상기한 각각의 탐침을 탄력적으로 지지하는 탄성부로 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드.

소정의 와이어가 구비되는 인쇄회로기판과, 상기 와이어에 전기적으로 연결되고 그 팁부가 웨이퍼에 접촉되도록 일부가 노출되어 인쇄회로기판에 끼워지는 다수개의 탐침과, 상기 인쇄회로기판에 장착되어 상기한 각각의 탐침을 탄력적으로 지지하는 탄성부로 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드.