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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 20-2001-0035072 (2001-11-15) |
등록번호 | 20-0266364-0000 (2002-02-18) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020010035072 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 설정등록의뢰 |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 가스 공급 시스템의 실시간 가스 모니터링 장치에 관한 것으로, 특히 가스통에서 가스를 공급하는 가스 공급 밸브와, 가스 공급 밸브에 의해 공급된 가스를 가스 공급관을 통해 반응 챔버에 전달하는 가스 배출 밸브와, 가스 배출 밸브를 통해 공급된 가스의 압력을 감지하는 압력 센서와, 가스 공급 밸브의 구동을 감지하여 디스플레이부에 가스의 충전 상태를 표시하고, 압력 센서에서 감지된 신호에 따라 디스플레이부에 가스의 흐름을 동적 또는 정적으로 표시하도록 제어하는 제어부를 구비한다. 따라서, 본 고안은 가스통 교체 또는 장비
가스통으로부터 공급된 가스를 가스 공급관을 통해 반응 챔버에 전달하고 상기 가스의 흐름을 디스플레이부에 표시하는 가스 공급 시스템의 가스 모니터링 장치에 있어서,상기 가스통에서 가스를 공급하는 가스 공급 밸브;상기 가스 공급 밸브에 의해 공급된 가스를 상기 가스 공급관을 통해 상기 반응 챔버에 전달하는 가스 배출 밸브;상기 가스 배출 밸브를 통해 공급된 가스의 압력을 감지하는 압력 센서; 및상기 가스 공급 밸브의 구동을 감지하여 상기 디스플레이부에 가스의 충전 상태를 표시하고, 상기 압력 센서에서 감지된 신호에 따라 상기 디스플레이
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