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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-2002-0039021 (2002-12-30) |
등록번호 | 20-0307632-0000 (2003-03-04) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020020039021 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 설정등록의뢰 |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 반도체칩 제조용 디스펜서장치에 관한 것으로, 본 고안은 마이크로 디스펜싱(Micro-dispensing), 고속의 돗팅(Dotting) 작업이 가능하면서 용액 토출량의 정밀도가 극대화 달성에 있다.상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은 통상의 로봇유니트와 같은 이송수단(미도시됨)에 조립되는 몸체(10)와,점성용액의 충진된 통상의 실린지용기(S.L)와 연결라인(S-1)으로 연결되고, 상기 몸체(10)에 착탈가능케 조립되는 하우징(20)과,상기 하우징(20)에 수용되는 하부의 스크류(31)를 일체로 하는 상부의 연결샤프트(33
통상의 로봇유니트와 같은 이송수단에 조립되는 몸체(10)와,점성용액의 충진된 통상의 실린지용기(S.L)와 연결라인(S-1)으로 연결되고, 상기 몸체(10)에 착탈가능케 조립되는 하우징(20)과,상기 하우징(20)에 수용되는 하부의 스크류(31)를 일체로 하는 상부의 연결샤프트(33), 상기 연결샤프트의 하단에 돌출된 칼라(32)를 갖는 스크류봉(30)과,상기 스크류봉(30)의 수평 및 수직방향의 유동을 조절 제어하기 위하여 상기 연결샤프트(33)의 상부에서 축선방향으로 조립된 발란서 조절체(40)와,상기 하우징(10)의 하부에 착탈
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