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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-2003-0028630 (2003-09-05) |
등록번호 | 20-0333547-0000 (2003-11-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020030028630 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 설정등록의뢰 |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 반도체 소자의 픽업장치에 관한 것이다. 본 고안의 반도체 소자의 픽업장치는, 가이드레일을 따라 반도체 소자가 위치된 방향으로 상, 하 이동되는 이동본체와; 이동본체에 설치되어 하단에 압력이 가해지면 상부로 슬라이딩하도록 된 슬라이더와; 이동본체가 하부로 이동하면 그 끝단이 반도체 소자에 접촉 가능하도록 되어 있고, 공기흡입구가 형성되어 있는 흡착패드와; 슬라이더를 하부로 밀어주고, 슬라이더의 하단에 압력이 가해져 슬라이더가 상부로 이동될 때 수축되는 완충용 스프링과; 흡착패드의 공기흡입구를 통해 공기를 흡입하여 흡착패드에
반도체 소자의 이송을 위한 픽업장치에 있어서, 가이드레일을 따라 반도체 소자가 위치된 방향으로 상, 하 이동되는 이동본체와; 상기 이동본체에 설치되어 있고, 하단에 압력이 가해지면 상부로 슬라이딩하도록 된 슬라이더와; 상기 슬라이더의 하단에 설치되어 이동본체가 하부로 이동하면 그 끝단이 반도체 소자에 접촉 가능하도록 되어 있고, 공기흡입구가 형성되어 있는 흡착패드와; 상기 슬라이더와 연결되어 슬라이더를 하부로 밀어주고, 슬라이더의 하단에 압력이 가해져 슬라이더가 상부로 이동될 때 수축되는 완충용 스프링과; 상기 흡착패드의 공기흡입구
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