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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 20-2006-0003980 (2006-02-13) |
| 등록번호 | 20-0415562-0000 (2006-04-27) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/2020060003980 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 설정등록의뢰 |
| 법적상태 | 소멸 |
본 고안은 반도체 제조 공정챔버의 플랜지에 회동 가능하게 설치되어 상측 입구를 개폐하는 도어의 개폐장치에 관한 것으로서, 상기 플랜지의 힌지결합부에 회전가능하게 설치된 유성기어부재와, 상기 유성기어부재의 회전축 일단에 고정된 고정지지축과, 상기 유성기어부재의 회전축 타단에 회전 가능하게 설치된 유동지지축과, 상기 고정지지축에 고정결합된 고정아암과, 상기 유동지지축에 베어링을 매개로 회전 가능하게 지지된 유동아암과, 상기 유동지지축에 상기 유동아암을 사이에 두고 고정결합된 구동부재를 포함하여, 공정챔버 도어의 개폐작동을 수행할 수 있
반도체 제조 공정챔버의 플랜지에 회동 가능하게 설치되어 상측 입구를 개폐하는 도어의 개폐장치에 있어서,상기 플랜지의 힌지결합부에 회전가능하게 설치된 유성기어부재와,상기 유성기어부재의 회전축 일단에 고정된 고정지지축과,상기 유성기어부재의 회전축 타단에 회전 가능하게 설치된 유동지지축과,상기 고정지지축에 고정결합된 고정아암과,상기 유동지지축에 베어링을 매개로 회전 가능하게 지지된 유동아암과,상기 유동지지축에 상기 유동아암을 사이에 두고 고정결합된 구동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어의 개폐장치.
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