$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[한국특허] 히팅자켓 제어장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개실용신안
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/02
  • G06F-019/00
  • H01L-021/00
출원번호 20-2008-0002103 (2008-02-18)
공개번호 20-2009-0008411 (2009-08-21)
DOI http://doi.org/10.8080/2020080002103
발명자 / 주소
  • 한윤섭 / 경기 오산시 원동 ***-*
출원인 / 주소
  • 주식회사 브이씨알 / 경기 오산시 원동 ***-*
대리인 / 주소
  • 김정현 (Kim, Jeong Hyeon)
  • 서울시 강남구 역삼동 ***-* *** 빌딩****호(한맥국제특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2008-02-18)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록 ▼

본 고안은 반도체 제조공정의 배기관에 설치되는 히팅자켓의 온도를 제어하는 히팅자켓 제어장치에 관한 것으로서, 상기 배기관 각각에 설치되는 적어도 하나 이상의 히팅자켓; 상기 각각의 히팅자켓에 설치되는 온도센서; 상기 히팅자켓과 쌍을 이루어 히팅자켓의 온도를 제어하며, 고유의 ID를 갖는 서브컨트롤러; 상기 서브컨트롤러와 통신하여 서브컨트롤러로부터 히팅자켓의 온도를 포함한 상태정보를 수신하며, 서브컨트롤러에 히팅자켓의 온도값 설정치를 전송하는 메인컨트롤러; 상기 메인컨트롤러에 구비된 키입력수단; 및 상기 메인컨트롤러에 구비되며, 서브

대표청구항 ▼

반도체 제조공정의 배기관에 설치되는 히팅자켓의 온도를 제어하는 히팅자켓 제어장치에 있어서,상기 배기관 각각에 설치되는 적어도 하나 이상의 히팅자켓;상기 각각의 히팅자켓에 설치되는 온도센서;상기 히팅자켓과 쌍을 이루어 히팅자켓의 온도를 제어하며, 고유의 ID를 갖는 서브컨트롤러;상기 서브컨트롤러와 통신하여 서브컨트롤러로부터 히팅자켓의 온도를 포함한 상태정보를 수신하며, 서브컨트롤러에 히팅자켓의 온도값 설정치를 전송하는 메인컨트롤러; 상기 메인컨트롤러에 구비된 키입력수단; 및상기 메인컨트롤러에 구비되며, 서브컨트롤러의 ID에 대응하는

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 히팅 자켓의 온도 제어 장치 | 이정민
    상세보기
  2. [한국] 히팅 재킷을 갖는 반도체 소자 제조 장치 | 김정남
    상세보기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로