[특허]기판 흡착 장치

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기판 흡착 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개실용신안
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/677 B25J-015/06 B65G-049/06 H01L-031/042
출원번호	20-2010-0009541 (2010-09-10)
공개번호	20-2012-0002041 (2012-03-20)
DOI	http://doi.org/10.8080/2020100009541
발명자 / 주소	조인 / 경기도 화성시 석우동 동란예단마을 신일유로빌 -* 오재준 / 경기도 성남시 분당구 산운로 , 한성필하우스 *-** (운중동)
출원인 / 주소	미르테크(주) / 경기도 수원시 영통구 삼성로*번길 , 수원벤처프라자 *층 (매탄동)
대리인 / 주소	이수찬; 채종길; 박갑록
심사청구여부	있음 (2010-09-10)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

본 고안은 기판 반송장치에 장착되는 기판 흡착 장치에 관한 것으로서, 지지프레임과 상기 지지프레임에 설치되어 상기 기판을 에어에 의해 흡착 고정시키는 흡착유닛 및 완충부재가 구비된 흡착패드로 구성되어 기판 흡착 과정에서 기판에 가해질 수 있는 흡착 충격이 방지될 수 있게 함으로써, 기판의 손상이나 파손을 방지하는 것은 물론 구조가 단순하여 유지 보수가 용이할 뿐 아니라, 제조단가를 절감할 수 있으며, 또한 기판의 정전기를 제거할 수 있는 기판 흡착 장치에 관한 것이다.

대표청구항

기판 반송장치에 결합되는 지지프레임;상기 지지프레임에 설치되어 상기 기판을 에어에 의해 흡착 고정시키는 흡착유닛; 및 상기 흡착유닛에 결합되어 상기 기판을 지지할 수 있게 구비하되, 하측면에는 상기 기판의 흡착 충격이 방지될 수 있도록 완충부재가 설치되는 흡착패드;를 포함하여 구성되는 기판 흡착 장치.

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특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

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저작권 관리 안내

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 메뉴
내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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