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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 20-2012-0002193 (2012-03-20) | |
공개번호 | 20-2012-0008377 (2012-12-05) | |
등록번호 | 20-0468162-0000 (2013-07-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020120002193 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-03-20) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은, 유정압 부상을 이용한 이송 테이블 장치에 관한 것으로, 베이스 테이블(100)과, 상기 베이스 테이블(100)의 상측에서 슬라이딩 이동하는 이송 테이블(200)과, 상기 베이스 테이블(100)과 상기 이송 테이블(200) 사이에 구비되어 상기 이송 테이블(200)의 이동을 안내하는 가이드레일(110)과, 상기 베이스 테이블(100)과 상기 이송 테이블(200) 사이에 구비되어 상기 가이드레일(110)을 지지하는 슬라이드블록(210)과, 상기 가이드레일(110)과 접하는 상기 이송 테이블(200) 또는 상기 슬라이드블록(
베이스 테이블(100)과;상기 베이스 테이블(100)의 상측에 구비되며, 유압에 의해 부상하여 슬라이딩 이동되는 이송 테이블(200)과;상기 베이스 테이블(100)과 상기 이송 테이블(200) 사이에 한 쌍으로 평행하게 구비되어, 상기 이송 테이블(200)의 이동을 안내하는 가이드레일(110)과;상기 베이스 테이블(100)과 상기 이송 테이블(200) 사이에 다수의 쌍으로 평행하게 구비되어, 상기 가이드레일(110)을 지지하는 슬라이드블록(210)과;상기 가이드레일(110)과 접하는 상기 이송 테이블(200) 또는 상기 슬라이드블록
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