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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 20-2018-0003653 (2018-08-07) | |
| 공개번호 | 20-2020-0000366 (2020-02-17) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/2020180003653 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2018-08-07) | |
| 심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
| 법적상태 | 거절 |
배기 가스 트랩 장치가 개시된다. 배기 가스 트랩 장치는, 공정 챔버로부터 배출되는 배기 가스가 유입되는 유입부가 일측에 돌출되고 내부에는 포집 공간이 형성된 하부 트랩 하우징과, 하부 트랩 하우징에 착탈 가능하게 결합되며 내부에는 하부 트랩 하우징과의 사이에 포집 공간을 형성하며 측면에는 이물질이 제거된 배기 가스가 배출되는 배출부가 돌출되는 상부 트랩 하우징과, 포집 공간에 설치되며 배기 가스가 통과되는 복수개의 관통홀이 형성되어 배기 가스에 포함된 이물질이 축적되는 복수개의 타공판을 포함한다.
공정 챔버로부터 배출되는 배기 가스가 유입되는 유입부가 일측에 돌출되고 내부에는 포집 공간이 형성된 하부 트랩 하우징;상기 하부 트랩 하우징에 착탈 가능하게 결합되며 내부에는 상기 하부 트랩 하우징과의 사이에 상기 포집 공간을 형성하며, 측면에는 이물질이 제거된 배기 가스가 배출되는 배출부가 돌출되는 상부 트랩 하우징; 및상기 포집 공간에 설치되며 상기 배기 가스가 통과되는 복수개의 관통홀이 형성되어 상기 배기 가스에 포함된 이물질이 축적되는 복수개의 타공판;을 포함하고,상기 관통홀은, 상기 타공판의 직경 크기에 대해 1/3 내지
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