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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0866436 (2004-06-10) |
공개번호 | US-0274128 (2005-12-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
This invention is a cryopump for enhanced removal of hydrogen from a vacuum environment. This is achieved through the use of a second stage made readily available to the gases being removed from the vacuum chamber. A plate that is part of the second stage is positioned with opening slots at an end o
1. A cryogenic pump for enhanced hydrogen pumping comprising a pump body connected to a refrigerator, a first and second stage within said pump body, said second stage comprising a slotted plate at an end thereof and cooling fins extending outwardly from said plate as to readily permit gas flow thro
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