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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0344595 (2006-02-01) |
공개번호 | US-0187444 (2006-08-24) |
우선권정보 | JP-P2005-029441(2005-02-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
The measurement light radiated from a radiator 2 enters an object of inspection through an integrating sphere 22. The measurement light is reflected on a base 52 of the object or a thin film 54. Further, the reflected light enters the integrating sphere 22 and is equalized in the integrating spher
What is claimed is: 1. A thin film inspection apparatus comprising: a radiator for radiating a measurement light on an object to be inspected; an integrator with a light-reflecting dispersive material formed on the inner surface of a hollow space into which a light out of the measurement light ref
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