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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0826373 (2017-11-29) |
공개번호 | US-0151851 (2018-05-31) |
우선권정보 | KR-10-2016-0162013 (2016-11-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
Disclosed is a roll-to-roll substrate deposition apparatus which may control the width and length of a deposition area so as to adjust the size of a thin film. The roll-to-roll substrate deposition apparatus includes a deposition area controller disposed between a flexible substrate supplied to the
1. A roll-to-roll substrate deposition apparatus comprising: a chamber configured to receive a flexible substrate that is conveyed through the chamber;a deposition unit disposed in the chamber and configured to supply a deposition material to a surface of the flexible substrate; anda deposition area
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