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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | 16705588 (2019-12-06) |
공개번호 | 20200111644 (2020-04-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
A direct drive circuit for providing RF power to a component of a substrate processing system includes a clock generator to generate a clock signal at a first frequency, a gate driver to receive the clock signal and a half bridge circuit. The half bridge circuit includes a first switch with a contro
1. A direct drive circuit for providing RF power to a component of a substrate processing system, comprising: a clock generator to generate a clock signal;a gate driver to receive the clock signal;a half bridge circuit including: a first switch with a control terminal connected to the gate driver, a
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