$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[미국특허] Process for production of polycrystalline silicon 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C01B-033/00
  • C01B-033/02
  • C01B-033/08
출원번호 US-0183584 (1971-09-24)
발명자 / 주소
  • Rodgers Michael A. (Tempe AZ)
출원인 / 주소
  • Motorola, Inc. (Chicago IL 02)
인용정보 피인용 횟수 : 29  인용 특허 : 0

초록 ▼

There is disclosed a process for the hydrogen reduction of silicon tetrachloride to produce trichlorosilane. In accordance with the process, hydrogen and silicon tetrachloride vapors are passed through a reaction chamber at relatively high flow rates with approximately 50 mole percent silicon tetrac

대표청구항 ▼

In a process producing polycrystalline silicon by the hydrogen reduction of trichlorosilane with hydrogen to produce silicon, unreacted trichlorosilane, and silicon tetrachloride and separating the trichlorosilane from the silicon tetrachloride, the improvement which comprises mixing the separated s

이 특허를 인용한 특허 (29) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Fahrenbruck, Scott; Hazeltine, Bruce; Schweyen, Andrew; Skinner, Shawn, Apparatus and methods for conversion of silicon tetrachloride to trichlorosilane.
    상세보기
  2. Burgie Richard Anthony ; Fleming Eric Michael,CAX, Chlorosilane and hydrogen reactor.
    상세보기
  3. Kulkarni, Milind S.; Gupta, Puneet; Devulapalli, Balaji; Ibrahim, Jameel; Revankar, Vithal; Foli, Kwasi, Fluidized bed reactor systems.
    상세보기
  4. Erk, Henry F., Fluidized bed reactor systems and distributors for use in same.
    상세보기
  5. Sarma Kalluri R. (Tempe AZ) Rice ; Jr. M. John (Tempe AZ), High pressure plasma hydrogenation of silicon tetrachloride.
    상세보기
  6. Tadahiro Ohmi JP; Yoshio Ishihara JP; Koh Matsumoto JP; Tetsuya Kimijima JP, Method and device for treating exhaust gas.
    상세보기
  7. Wakamatsu, Satoru; Oda, Hiroyuki, Method for producing silicon.
    상세보기
  8. Masuda, Nobuhisa; Tachino, Noboru, Method for separating and recovering conversion reaction gas.
    상세보기
  9. Bohmhammel, Klaus; Koether, Sven; Roewer, Gerhard; Roever, Ingo; Monkiewicz, Jaroslaw; Hoene, Hans-Juergen, Method for the production of HSiCl3 by catalytic hydrodehalogenation of SiCl4.
    상세보기
  10. Auner, Norbert, Method for the production of silicon from silyl halides.
    상세보기
  11. Auner, Norbert, Method for the production of silicon from silyl halides.
    상세보기
  12. Pfluegler, Bernhard; Ring, Robert, Method for the production of trichlorosilane.
    상세보기
  13. Kulkarni, Milind S.; Gupta, Puneet; Devulapalli, Balaji; Ibrahim, Jameel; Revankar, Vithal; Foli, Kwasi, Methods for introducing a first gas and a second gas into a reaction chamber.
    상세보기
  14. Kulkarni, Milind S.; Gupta, Puneet; Devulapalli, Balaji; Ibrahim, Jameel; Revankar, Vithal; Foli, Kwasi, Methods for producing polycrystalline silicon that reduce the deposition of silicon on reactor walls.
    상세보기
  15. Seung-hwan Lee KR; Yeong-kwan Kim KR; Dong-chan Kim KR; Young-wook Park KR, Methods of forming thin films by atomic layer deposition.
    상세보기
  16. Sarma Kalluri R. (Tempe AZ) Rice ; Jr. M. John (Tempe AZ) Lesk I. Arnold (Phoenix AZ) Nikirk Roger G. (Tempe AZ), Polycrystalline silicon production.
    상세보기
  17. Paetzold,Uwe; Reisbeck,Anton; Surner,Manfred, Process and apparatus for the hydrogenation of chlorosilanes.
    상세보기
  18. Knoth, Jens Felix; Eberle, Hans-Juergen; Ruedinger, Christoph, Process for converting silicon tetrachloride to trichlorosilane.
    상세보기
  19. Reuschel Konrad (Vaterstetten DEX) Dietze Wolfgang (Munich DEX) Rucha Ulrich (Munich DEX), Process for depositing elemental silicon semiconductor material from a gas phase.
    상세보기
  20. Hesse, Karl; Schreieder, Franz, Process for depositing polycrystalline silicon.
    상세보기
  21. Rodgers Michael A. (Tempe AZ), Process for manufacturing pure polycrystalline silicon.
    상세보기
  22. Kendig,James Edward; Landis,David Russell; McQuiston,Todd Michael; Zalar,Michael Matthew, Process for preparation of polycrystalline silicon.
    상세보기
  23. Blocher ; Jr. ; John M. ; Browning ; Melvin F., Process for silicon and trichlorosilane production.
    상세보기
  24. Weigert Wolfgang (Offenbach DEX) Meyer-Simon Eugen (Frankfurt DEX) Schwarz Rudolf (Wasserlos DEX), Process for the production of chlorosilanes.
    상세보기
  25. Weigert Wolfgang (Offenbach DEX) Meyer-Simon Eugen (Frankfurt DEX) Schwarz Rudolf (Wasserlos DEX), Process for the production of chlorosilanes.
    상세보기
  26. Bhusarapu, Satish; Huang, Yue; Gupta, Puneet, Production of polycrystalline silicon in substantially closed-loop systems.
    상세보기
  27. Bhusarapu, Satish; Huang, Yue; Gupta, Puneet, Production of polycrystalline silicon in substantially closed-loop systems.
    상세보기
  28. Bill, Jr., Jon M.; Merkh, Carl W., Silicon and catalyst material preparation in a process for producing trichlorosilane.
    상세보기
  29. Auner, Norbert; Holl, Sven; Bauch, Christian; Lippold, Gerd; Deltschew, Rumen, Solid polysilane mixtures.
    상세보기

활용도 분석정보

상세보기
다운로드
내보내기

활용도 Top5 특허

해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로