[특허]Vacuum pump having a rotor supported in the interior of its casing

Vacuum pump having a rotor supported in the interior of its casing 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F04B-017/00
출원번호	US-0490849 (1974-07-22)
우선권정보	DT-2337226 (1973-07-21)
발명자 / 주소	Isenberg Gerhard (Dachau DT) Tuzinsky Wolfgang (Munich DT)
출원인 / 주소	Maschinenfabrik Augsburg-Nurnberg AG (Munich DT 03)
인용정보	피인용 횟수 : 34 인용 특허 : 0

초록

The present invention relates to magnetic support of the rotor structure in vacuum pumps, particularly turbomolecular pumps. This magnetic support eliminates the requirements for bearing lubricants, and the consequent degradation of the vacuum to be produced by lubricant vapors.

대표청구항 ▼

A vacuum pump for generating high vacuums free of lubricating vapors, said pump comprising: a housing having a horizontal extent, said housing including a vacuum intake chamber and at least one outlet means, a rotor structure supported horizontally along the horizontal extent of said housing, said rotor structure including a shaft and a plurality of rotor vanes mounted on said shaft, said plurality of rotor vanes being in cooperation with a plurality of stAtor vanes mounted in said housing, and said plurality of rotor and stator vanes being arranged between said intake chamber and said outlet means, an electric motor means mounted in said housing for rotation said rotor structure, and electromagnetic support means for rotatably supporting said rotor structure in said housing, said electromagnetic support means supporting said rotor structure both axially and radially, wherein said electromagnetic support means includes a plurality of radially mounted magnetic cores on said shaft and a plurality of electromagnets mounted in said housing in operative relationship with said plurality of radial magnetic cores for providing radial support of said rotor structure, wherein said electromagnetic support means further includes at least one axial magnetic core mounted on the end face of said shaft and at least one electromagnet mounted in said housing in operative relationship to said axial magnetic core for providing axial support for said rotor structure, each of said electromagnets of said magnetic support means being electrically energized separately; wherein said horizontally supported rotor structure includes two journal shafts extending from a central rotor hub, a portion of said plurality of rotor vanes being mounted on each of said two journal shafts and a portion of said stator vanes being mounted in said horizontally extending housing to be in cooperation with said rotor vanes on each journal shaft; wherein said electric motor means includes a rotor means and a stator means, said rotor means being mounted on one of said two journal shafts, and said stator means being mounted in said housing in operative relationship to said rotor means; and wherein said plurality of radially mounted magnetic cores includes two annular, laminated magnetic cores, each of said annular cores being mounted on each of said two journal shafts, and said plurality of electromagnets is mounted in said housing in operative relationship to each of said annular magnetic cores, and wherein said at least one axial magnetic core is mounted within the end face of each journal shaft and said at least one electromagnet is mounted in said housing in operative relationship to said axial magnetic cores in each respective end face of said journal shafts.

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