[특허]Air bearing vacuum seal assembly

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Air bearing vacuum seal assembly 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F16J-015/40 G21G-004/02
출원번호	US-0837252 (1977-09-27)
발명자 / 주소	Booth Rex
출원인 / 주소	The United States of America as represented by the United States, Department, of Energy
대리인 / 주소	Carlson, Dean E.Gaither, Roger S.Carnahan, L. E.
인용정보	피인용 횟수 : 17 인용 특허 : 0

초록 ▼

An air bearing vacuum seal assembly capable of rotating at the speed of several thousand revolutions per minute using an air cushion to prevent the rotating and stationary parts from touching, and a two stage differential pumping arrangement to maintain the pressure gradient between the air cushion and the vacuum so that the leak rate into the vacuum is, for example, less than 1 .times. 10.sup.-4 Pa m.sup.3 /s. The air bearing vacuum seal has particular application for mounting rotating targets to an evacuated accelerator beam tube for bombardment of the targets with high-power charged particle beams in vacuum.

대표청구항

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이 특허를 인용한 특허 (17)

Devitt, Andrew, Air bearing for use as a seal.
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Devitt, Andrew, Air bearing for use as seal.
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Lullini Dino (Bologna ITX) Cesari Giorgio (Bologna ITX) Baruffato Roberto (Bologna ITX), Automatic filling machine with compressed-air seal.
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Carter Donald L. (Vestal NY), Combination rotary gas bearing and seal apparatus.
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Shinozaki,Hiroyuki, Differential pumping seal apparatus.
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Smick Theodore H. ; Farley Marvin ; Sakase Takao ; Ryding Geoffrey, Fluid bearing vacuum seal assembly.
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Bisschops, Theodorus H. J.; Vijfvinkel, Jakob; Soemers, Hermanus M. J. R.; Driessen, Johannes C.; Renkens, Michael J. M.; Bouwer, Adrianus G., Gas bearings for use with vacuum chambers and their application in lithographic projection apparatus.
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Bisschops, Theodorus H. J.; Vijfvinkel, Jakob; Soemers, Hermanus M. J. R.; Driessen, Johannes C.; Renkens, Michael J. M.; Bouwer, Adrianus G., Gas bearings for use with vacuum chambers and their application in lithographic projection apparatuses.
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Stover Richard W. (Chester VA) Proper Frederick T. (Chester VA) Young Steven A. (Cary NC), Melt pump seal with vacuum housing.
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Devitt, Andrew J., Porous media ventless seal.
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Logan Clinton M. (Pleasanton CA) Garibaldi Jack L. (Livermore CA), Rotatable seal assembly.
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Brewster,Barrie Dudley; Livesey,Robert Gordon; Jacobs,Johannes Henricus Wilhelmus, Sealing assembly, a lithographic projection apparatus, and a device manufacturing method.
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Hara Hideaki,JPX, Stage apparatus and exposure apparatus provided with the stage apparatus.
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Shinozaki,Hiroyuki; Sobukawa,Hirosi; Yoshikawa,Shoji, Stage device and angle detecting device.
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Devitt, Andrew J., Thrust bearing as a seal.
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Carter, Donald L., Vacuum-to-vacuum entry system apparatus.
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LaFiandra Carlo (New Canaan CT) Hughes Gregory P. (Norwalk CT), X-ray anode assembly.
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특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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