$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Modular getter pumps 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F04B-037/02
출원번호 US-0840243 (1977-10-07)
우선권정보 IT-0029004 (1976-11-03); IT-0021075 (1977-03-09)
발명자 / 주소
  • della Porta Paolo (Milan ITX) Ferrario Bruno (Milan ITX) Rosai Livio (Milan ITX)
출원인 / 주소
  • S.A.E.S. Getters S.p.A. (Milan ITX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 28  인용 특허 : 2

초록

A modular getter pump includes a first and a second supporting electrode. At least one strip of high ohmic resistance material is connected to and supported by the first and second supporting electrodes. The strip of high ohmic resistance material has a length much greater than its width and only a

대표청구항

A modular getter pump comprising: (1) a first and a second supporting electrode, (b) at least one strip of high ohmic resistance material connected to and supported by the first and second supporting electrodes, the strip having a length much greater than its width and a nominal thickness, the strip

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Murphy David R. (Falls Church VA), Accelerator for charged particles.
  2. Giorgi Tiziano A. (Milan IT) Hellier Stephen John (Milan IT), Getter pump.

이 특허를 인용한 특허 (28)

  1. Carella Sergio,ITX ; Conte Andrea,ITX ; Belloni Fortunato,ITX, Compact getter pump with nested thermally insulating shields.
  2. Piefer, Gregory, Device and method for producing medical isotopes.
  3. Bonucci, Antonio; Manini, Paolo; Conte, Andrea; Viale, Luca, Getter pump.
  4. Bonucci, Antonio; Viale, Luca, Getter pump.
  5. Giannantonio Roberto,ITX ; Conte Andrea,ITX, Getter pump especially suitable for the use upstream, in proximity coaxially with respect to a turbomolecular pump.
  6. Krueger Gordon ; Lorimer D'Arcy H. ; Carella Sergio,ITX ; Conte Andrea,ITX, Getter pump module and system.
  7. Krueger Gordon P. ; Lorimer D'Arcy H. ; Carella Sergio,ITX ; Conte Andrea,ITX, Getter pump module and system.
  8. Krueger Gordon P. ; Lorimer D'Arcy H. ; Carella Sergio,ITX ; Conte Andrea,ITX, Getter pump module and system.
  9. Krueger Gordon P. ; Lorimer D'Arcy H. ; Carella Sergio,ITX ; Conte Andrea,ITX, Getter pump module and system.
  10. Krueger Gordon P. ; Lorimer D'Arcy H. ; Carella Sergio,ITX ; Conte Andrea,ITX, Getter pump module and system.
  11. Krueger Gordon ; Lorimer D'Arcy ; Carella Sergio ; Conte Andrea,ITX, Getter pump module and system including focus shields.
  12. Conte Andrea,ITX, Getter pump with high gas sorption velocity.
  13. Dominoni Danilo,ITX ; Giannantonio Roberto,ITX, Getter pump with one-piece frame supporting nonevaporable getter elements.
  14. Conte Andrea,ITX ; Mazza Francesco,ITX, Getter system for purifying the confinement volume in process chambers.
  15. Manini, Paolo; Ferrario, Bruno, High-capacity getter pump.
  16. Lorimer D'arcy H. ; Krueger Gordon P., In Situ getter pump system and method.
  17. Lorimer D'Arcy H. ; Krueger Gordon P., In situ getter pump system and method.
  18. Lorimer D\Arcy H. (Pismo Beach CA) Krueger Gordon P. (Nipomo CA), In situ getter pump system and method.
  19. Gabrys,Christopher W.; Campbell,David R., Long-life vacuum system for energy storage flywheels.
  20. Lorimer D'Arcy H. ; Krueger Gordon P., Method for processing wafers with in situ gettering.
  21. Krueger Gordon P. ; Lorimer D'Arcy H. ; Carella Sergio,ITX ; Conte Andrea,ITX, Method for pumping a chamber using an in situ getter pump.
  22. Jaim Nulman, Methods and apparatus for forming and maintaining high vacuum environments.
  23. Wallace Robert M. (Dallas TX) Webb Douglas A. (Phoenix AZ), Micro-mechanical device with non-evaporable getter.
  24. Wang Hougong ; Lai Steve ; Yao Gongda ; Ding Peijun, Reflow chamber and process.
  25. Wang Hougong ; Lai Steve ; Yao Gongda ; Ding Peijun, Reflow chamber and process.
  26. Brooks, Jeffrey N.; Mattas, Richard F., Self-pumping impurity control.
  27. McIver, Carl R., Sublimation pump and method.
  28. Ouellet Luc,CAX ; Tremblay Yves,CAX ; Gendron Luc,CAX, Substrate processing apparatus with non-evaporable getter pump.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로