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Purification of nitrogen trifluoride atmospheres 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-053/02
출원번호 US-0913784 (1978-06-08)
발명자 / 주소
  • Woytek Andrew J. (Allentown PA) Lileck John T. (Tamaqua PA)
출원인 / 주소
  • Air Products and Chemicals, Inc. (Allentown PA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 1

초록

This invention relates to an improvement in a process for purifying nitrogen trifluoride atmospheres generally contaminated with nitrous oxide, water, and dinitrogen difluoride. The improvement for extending adsorber life resides in reducing the dinitrogen difluoride content in the atmosphere to les

대표청구항

In a process for removing nitrous oxide from a nitrogen trifluoride atmosphere contaminated with dinitrogen difluoride, which comprises passing said atmosphere through an adsorption zone containing a synthetic zeolite adsorbent, the improvement for treating atmospheres having a dinitrogen difluoride

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Woytek ; Andrew Joseph ; Lileck ; John Theodore, Preparation of nitrogen trifluoride.

이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Dong, Chun Christine; Rao, Madhukar Bhaskara; Wu, Dingjun, Adsorbent for moisture removal from fluorine-containing fluids.
  2. Satchell, Jr.,Donald Prentice; le Roux,Johannes Petrus, Method and apparatus for the production of nitrogen trifluoride.
  3. Aritsuka Makoto (Yamaguchi JPX) Iwanaga Naruyuki (Yamaguchi JPX), Method for purifying nitrogen trifluoride gas.
  4. Harada Isao (Yamaguchi JPX) Hokonohara Hisashi (Yamaguchi JPX) Yamaguchi Toshiaki (Yamaguchi JPX), Process for purifying nitrogen trifluoride gas.
  5. Koto Nobuhiko (Yamaguchi JPX) Nishitsuji Toshihiko (Yamaguchi JPX) Iwanaga Naruyuki (Yamaguchi JPX) Harada Isao (Yamaguchi JPX), Process for purifying nitrogen trifluoride gas.
  6. Dholakia,Vipul; Tsirukis,Athanasios; Zehnder,Anthony J.; Boehme,Richard Peter, Process for the production of nitrogen trifluoride.
  7. Hart,James Joseph; Henderson,Philip Bruce; Withers, Jr.,Howard Paul; Rao,Madhukar Bhaskara; Subawalla,Hoshang, Process for the purification of NF.
  8. Golden Timothy Christopher ; Taylor Fred William ; Johnson Leighta Maureen ; Malik Nasim Hassan,GBX ; Raiswell Christopher James,GBX, Purification of air.
  9. Atobe Hitoshi,JPX ; Kaneko Toraichi,JPX, Reactive agent and process for decomposing nitrogen fluoride.
  10. Henderson, Philip Bruce; Colleran, Patrick Michael; Hulbert, Forrest Eli, Recovery of NF3 from adsorption operation.
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