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연합인증

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Inspection apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-021/16
출원번호 US-0853462 (1977-11-21)
우선권정보 GB-0050184 (1976-12-01)
발명자 / 주소
  • Clarke Graham M. (Edinburgh GB6)
출원인 / 주소
  • Ferranti Limited (Hollinwood GB2 03)
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 1

초록

To distinguish between different types of fault detected by laser scanning of a moving web two or more detectors are arranged to collect light reflected in different ranges of angles in direction of web motion. By combining outputs of these in a logical way representing increases or decreases in the

대표청구항

Detection means for optical inspection apparatus of the type wherein light, confined to a narrow beam, is scanned repetitively over a web moving past the apparatus transversely to the direction of scan of the beam and light reflected from or transmitted by the web is collected by a receiver containi

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Seki Takeo (Kokubunji JA) Maeda Itsuji (Akishima JA), Method and apparatus for detecting defects in a surface regardless of surface finish.

이 특허를 인용한 특허 (13)

  1. Jann Peter C. ; Li Wayne W. ; Iosilevsky Igor ; Womack Kenneth H. ; Cejna Vlastimil ; Burt ; Jr. George A., Apparatus and method for surface inspection by specular interferometric and diffuse light detection.
  2. Hayano Fuminori (Fujisawa JPX) Imamura Kazunori (Tokyo JPX) Murata Sunao (Kawasaki JPX) Kato Kinya (Tokyo JPX), Apparatus for detecting foreign particles on a surface of a reticle or pellicle.
  3. Sick Erwin (Icking DEX), Apparatus for determining faults in strip material.
  4. Curl, Barry J., Apparatus for determining with high resolution the position of edges of a web.
  5. Hayano Fuminori (Fujisawa JPX) Imamura Kazunori (Tokyo JPX) Murata Sunao (Kawasaki JPX) Kato Kinya (Tokyo JPX), Apparatus with four light detectors for checking surface of mask with pellicle.
  6. Evans John C. (Midland MI), Method and apparatus for on-line monitoring of laminate bond strength.
  7. Ehrich, Sven; Wunderer, Bernd, Method and device for testing valuable documents.
  8. Clarke Donald A. (Windsor CAX) Reynolds Rodger L. (Windsor CAX) Pryor Timothy R. (Tecumseh CAX), Panel surface flaw inspection.
  9. Clarke Donald A. (Windsor CAX) Reynolds Rodger L. (Windsor CAX) Pryor Timothy R. (Windsor CAX), Panel surface flaw inspection.
  10. Quackenbos George S. (Newburyport MA) Ormsby Jay L. (Salem NH) Chase Eric T. (Andover MA) Broude Sergey V. (Acton MA) Nishine Koichi (Westford MA), Surface defect detection and confirmation system and method.
  11. Quackenbos George S. (Newburyport MA) Ormsby Jay L. (Salem NH) Chase Eric T. (Andover MA) Broude Sergey V. (Acton MA) Nishine Koichi (Westford MA), Surface pit detection system and method.
  12. Gardner Chester S. (Champaign IL) Streight William E. (East Peoria IL), Surface roughness gauge and method.
  13. Chow, Vincent Y., System and method for attenuation of electrical noise.
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