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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0857427 (1977-12-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 33 인용 특허 : 4 |
Buffer storage apparatus is disclosed for use with a semiconductor wafer processing system having plurality of processing stations positioned along a conveyor structure and in which allowance must be made for different processing rates at different stations, the buffer storage apparatus including a
In a semiconductor wafer processing system having a plurality of processing stations spaced along a conveyor structure and in which the various processing stations may process wafers at different rates and in which each said processing station provides signals indicating its availability or unavaila
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