[특허]Cathode for sputtering

[미국특허] Cathode for sputtering 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-015/00
출원번호	US-0971196 (1978-12-20)
발명자 / 주소	Chambers Douglas L. (Nashville TN) Wan Chong T. Wan (Nashville TN)
출원인 / 주소	Advanced Coating Technology, Inc. (Franklin TN 02)
인용정보	피인용 횟수 : 28 인용 특허 : 5

초록 ▼

A system for sputter coating architectural glass is disclosed which includes an evacuable enclosure, a conveyor for moving glass to be coated along parallel paths, an elongated sputtering cathode supported between the paths, and structure by which ionizable gas is introduced into the enclosure. The cathode creates a continuous band of plasma extending about it through a region defining laterally spaced first and second sections extending generally parallel to glass on respective sides of the cathode and return sections joining the ends of the laterally spaced sections. The cathode includes sputtering material target face portions extending adjacent and parallel to the plasma sections and a magnetic field directing system for constraining the plasma flow in the sections to extend substantially uniformly over the target face portions.

대표청구항 ▼

A sputtering cathode comprising: (a) an elongated electrically conductive support structure; (b) sputtering target means defining a band-like target face extending longitudinally of and circumferentially about said support; said target face comprising: (i) first and second target face portions extending along the length of said support structure, said face portions facing away from said support structure in different directions; and, (ii) first and second bridging face portions extending between adjacent respective ends of the target face portions; (c) electrical connector structure for connecting said support structure to an electric power supply to enable emission of electrons from said cathode; and (d) magnetic means for confining electrons emitted from the cathode to a belt-like region extending about the cathode adjacent but spaced from said target and bridging face portions, said magnetic means comprising members extending longitudinally along said support structure and along respective lateral sides of said target face portions, said members effective to direct magnetic fields across said target face portions so that said belt-like region extends substantially completely across the lateral extent of said face portions.

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