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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0156970 (1980-06-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 46 인용 특허 : 3 |
A capacitive pressure transducer having a first flexible electrically insulative diaphragm disposed apart from a second electrically insulative member, including a second flexible diaphragm, and where the diaphragm and member include metalized portions thereon forming the plates of a pressure sensin
A capacitive pressure transducer comprising: a first diaphragm having a pressure responsive region thereon and deflectable in response to the local pressure; first means spaced from said first diaphragm defining a gap therebetween; pressure responsive means applied to the said pressure responsive re
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