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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0183803 (1980-09-03) |
우선권정보 | JP-0115450 (1979-09-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 1 |
An apparatus to mount wafers for sublimation plating on a rotary type wafer holding dome having more than one wafer mounting seat of window type on its circumference comprising a wafer cassette that holds many sheets of wafers piled up with spacing and holding pieces in-between and is driven up-and-
1. An apparatus for mounting wafers to be treated for sublimation plating respectively in order onto a plurality of wafer mounting seats, including a wafer cassette for storing said wafers therein, said cassette being driven vertically at the same intervals as wafer mounting; a rotary arm for mounti
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