[특허]Microwave discharge ion source

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01J-007/46 H01J-019/80
출원번호	US-0247072 (1981-03-24)
우선권정보	JP-0036074 (1980-03-24)
발명자 / 주소	Koike Hidemi (Tokorozawa JPX) Sakudo Noriyuki (Ohme JPX) Tokiguchi Katsumi (Hachioji JPX) Kanomata Ichiro (Fuchu JPX)
출원인 / 주소	Hitachi, Ltd. (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 2

초록 ▼

A microwave discharge ion source according to this invention comprises a microwave generator, a discharge chamber having ridged electrodes, and a waveguide connecting the microwave generator with the discharge chamber. This waveguide consists of a waveguide having no ridged electrode, and a waveguide having ridged electrodes. Further, a vacuum-sealing dielectric plate is disposed at an intermediate position or an end part of the waveguide having no ridged electrode. A space in the waveguide as extends from the vacuum-sealing dielectric plate to the discharge chamber is filled with a dielectric. As a result, the design and fabrication of the vacuum-sealing dielectric plate are facilitated, and a microwave discharge ion source of high performance is provided.

대표청구항 ▼

A microwave discharge ion source comprising means for generating microwaves, a discharge chamber which has ridged electrodes for introducing the microwaves generated by the microwave generating means and establishing a microwave electric field and which is maintained in a vacuum state, and a waveguide which guides said microwaves generated by said microwave generating means to said discharge chamber; said waveguide consisting of a section which has no ridged electrode and which serves to guide said microwaves generated by said microwave generating means to said discharge chamber without reflecting them, and a section which has ridged electrodes; a vacuum-sealing dielectric plate being disposed in said section of said waveguide having no ridged electrode, said vacuum-sealing dielectric plate serving to maintain the vacuum state of said discharge chamber and also to propagate said microwaves without reflecting them; an insulating packed material being packed in a space in said waveguide existent between said vacuum-sealing dielectric plate and said discharge chamber, said insulating packed material serving to prevent any discharge outside said discharge chamber.

이 특허에 인용된 특허 (2) 인용/피인용 타임라인 분석

Mourier Georges (Paris FRX), Ion source producing a dense flux of low energy ions.
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Sakudo Noriyuki (Ohme JPX) Tokiguchi Katsumi (Hachioji JPX) Koike Hidemi (Tokorozawa JPX) Kanomata Ichiro (Fuchu JPX), Microwave plasma ion source.
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이 특허를 인용한 특허 (11) 인용/피인용 타임라인 분석

Fujiyama Yasutomo (Tokyo JPX), Apparatus with layered microwave window used in microwave plasma chemical vapor deposition process.
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Asmussen Jes (Okemos MI), Coaxial cavity type, radiofrequency wave, plasma generating apparatus.
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Delaunay Marc (Grenoble FRX) Gualandris Ren (Grenoble FRX) Geller Richard (Grenoble FRX) Jacquot Claude (St Egreve FRX) Ludwig Paul (Grenoble FRX) Mathonnet Jean-Marc (Grenoble FRX) Rocco Jean-Claude, Electron cyclotron resonance ion source.
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Ghanbari Ebrahim (Huntington NY), Electron cyclotron resonance plasma source.
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Asmussen Jes (Okemos MI) Root Joseph J. (East Lansing MI), Ion generating apparatus and method for the use thereof.
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Ohno Yasunori (Hitachi JPX) Kurosawa Tomoe (Hitachi JPX) Sato Tadashi (Mito JPX) Kurosawa Yukio (Hitachi JPX) Hakamata Yoshimi (Hitachi JPX), Ion source.
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Matsuda Koji (Shiga JPX) Takagi Toshinori (Kyoto JPX) Ishikawa Junzo (Kyoto JPX), Microwave ion source.
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Torii Yasuhiro (Kanagawa JPX) Matsuo Seitaro (Kanagawa JPX) Watanabe Iwao (Kanagawa JPX) Shimada Masaru (Kanagawa JPX), Microwave ion source.
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Jacquot Bernard (Saint Egreve FRX), Multicharged ion source with several electron cyclotron resonance zones.
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Post Richard F. (Walnut Creek CA), Particle accelerator employing transient space charge potentials.
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Popov Oleg A. (Franklin MA), Plasma generation in electron cyclotron resonance.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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