[특허]Electrostatic cassette

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H02N-013/00 H01J-037/30
출원번호	US-0337205 (1982-01-05)
발명자 / 주소	Eckes William A. (Berkeley CA) Rhoades Russell H. (Palo Alto CA) Vorreiter John W. (Sunnyvale CA) Wiesner John C. (Hayward CA) Shepard Charles E. (San Jose CA)
출원인 / 주소	The Perkin-Elmer Corp. (Norwalk CT 02)
인용정보	피인용 횟수 : 33 인용 특허 : 2

초록 ▼

An electrostatic cassette assembly comprising, a cassette body having a central opening for receiving a wafer to be processed in a particle beam lithographic system, a charge plate with a top surface having a coating of dielectric (nonconductive) material or a plurality of nonconductive means, or both, on which the wafer is supported, means for forcing said charge plate and wafer into contact with stop means to hold the wafer rigidly in said cassette assembly, and means for applying a potential difference between the wafer and the charge plate to flatten said wafer by Coulombic force so that the wafer is held both mechanically and electrostatically in said cassette assembly. Means are also provided for insuring a good electrical contact with the wafer and for aligning the wafer in the cassette assembly.

대표청구항 ▼

An electrostatic cassette assembly for securing and positioning a wafer in a particle beam lithography system so that the upper surface of the wafer is exposed to the particle beam, comprising, a cassette body having a central opening for receiving said wafer, retainer means secured in fixed relationship and extending into said opening, a charge plate fabricated with extreme flatness with a top surface having a relatively thin dielectric formed to be extremely uniform on which the wafer is positioned so that the bottom surface of the wafer engages the dielectric, holding means cooperable with said cassette body to force said wafer into contact with said retaining means whereby the wafer is held rigidly in said cassette assembly, and, means for applying a first potential to the wafer and a second potential of a different value to said charge plate on the side opposite said charge plate from said dielectric to flatten said wafer by Coulombic force whereby the wafer is held both mechanically and electrostatically in said cassette assembly.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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