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Magnetic objective lens for use in a scanning electron microscope 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01J-037/14
출원번호 US-0338622 (1982-01-11)
발명자 / 주소
  • Nakagawa Seiichi (Akishimashi JPX)
출원인 / 주소
  • JEOL Ltd. (Tokyo JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 20  인용 특허 : 3

초록 ▼

In a scanning electron microscope, an objective lens has upper, lower and outer magnetic pole pieces. The bore diameter of the lower magnetic pole piece is smaller than those of said upper and outer magnetic pole pieces. The lens field between said upper and lower magnetic pole pieces is generated f

대표청구항 ▼

A magnetic objective lens for use in a scanning electron microscope comprising: (a) a lower magnetic pole piece having a bore diameter D1, (b) an upper magnetic pole piece having a bore diameter D2 which is larger than D1, (c) an outer magnetic pole piece having a bore diameter D3 which is larger th

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Hoppe Walter (Lochham DEX) Typke Dieter (Gauting DEX), Corpuscular beam microscope for ring segment focusing.
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  2. Tsuno, Katsushige, Electron lens equipped with three magnetic pole pieces.
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  3. Nakagawa Seiichi (Tokyo JPX) Yonezawa Akira (Tokyo JPX) Kikuchi Masatsugu (Tokyo JPX), Magnetic electron lens.
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이 특허를 인용한 특허 (20)

  1. Sato,Mitsugu; Todokoro,Hideo; Ose,Yoichi; Ezumi,Makoto; Arai,Noriaki; Doi,Takashi, Charged particle beam apparatus and charged particle beam irradiation method.
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  2. Sato,Mitsugu; Todokoro,Hideo; Ose,Yoichi; Ezumi,Makoto; Arai,Noriaki; Doi,Takashi, Charged particle beam apparatus and charged particle beam irradiation method.
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  3. Casares, Antonio; Kemen, Thomas; Knippelmeyer, Rainer; Bayer, Thomas; Fritz, Georg; Greschner, Johann; Kalt, Samuel, Charged particle-optical systems, methods and components.
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  4. Veneklasen Lee H. ; DeVore William J., Composite concentric-gap magnetic lens and deflector with conical pole pieces.
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  5. Rouberol Jean-Michel (Saint Germain En Laye FRX) Tong Mathias (St Mande FRX), Composite electromagnetic lens with variable focal distance.
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  6. Chang, Wei-Yu; Chen, Fu-Rong; Lee, Te-Hui; Huang, Tsu-Wei, Desktop electron microscope and wide range tunable magnetic lens thereof.
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  7. Nakasuji, Mamoru; Kato, Takao; Noji, Nobuharu; Satake, Tohru; Murakami, Takeshi; Watanabe, Kenji, Electron beam apparatus and a device manufacturing method by using said electron beam apparatus.
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  8. Nakasuji,Mamoru; Kato,Takao; Noji,Nobuharu; Satake,Tohru; Murakami,Takeshi; Watanabe,Kenji, Electron beam apparatus and a device manufacturing method by using said electron beam apparatus.
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  9. Nakasuji,Mamoru; Kato,Takao; Noji,Nobuharu; Satake,Tohru; Murakami,Takeshi; Watanabe,Kenji, Electron beam apparatus and a device manufacturing method by using said electron beam apparatus.
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  10. Richardson Neil (Mountain View CA), Electron beam test probe for integrated circuit testing.
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  11. Frosien Juergen (Ottobrunn DEX) Plies Erich (Munich DEX), Electrostatic-magnetic lens for particle beam apparatus.
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  12. Veneklasen Lee H. ; DeVore William J., Magnetic lens and deflector with inner and outer pole pieces with conical inner pole piece.
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  13. Crewe Albert V. (Palos Park IL), Magnetic lens apparatus for a low-voltage high-resolution electron microscope.
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  14. Stephen W. Into, Magnetic lens for focusing a charged particle beam.
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  15. Knippelmeyer, Rainer; Kienzle, Oliver; Kemen, Thomas; Mueller, Heiko; Uhlemann, Stephan; Haider, Maximilian; Casares, Antonio, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
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  16. Knippelmeyer, Rainer; Kienzle, Oliver; Kemen, Thomas; Mueller, Heiko; Uhlemann, Stephan; Haider, Maximilian; Casares, Antonio, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
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  17. Knippelmeyer, Rainer; Kienzle, Oliver; Kemen, Thomas; Mueller, Heiko; Uhlemann, Stephan; Haider, Maximilian; Casares, Antonio; Rogers, Steven, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
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  18. Knippelmeyer, Rainer; Kienzle, Oliver; Kemen, Thomas; Mueller, Heiko; Uhlemann, Stephan; Haider, Maximilian; Casares, Antonio; Rogers, Steven, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
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  19. Knippelmeyer, Rainer; Kienzle, Oliver; Kemen, Thomas; Mueller, Heiko; Uhlemann, Stephan; Haider, Maximillian; Casares, Antonio; Rogers, Steven, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
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  20. Knippelmeyer,Rainer; Kienzle,Oliver, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
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