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[미국특허] Dielectrically isolated transducer employing single crystal strain gages 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01L-001/22
출원번호 US-0298275 (1981-08-31)
발명자 / 주소
  • Kurtz Anthony D. (Englewood NJ) Nunn Timothy A. (Ridgewood NJ) Mallon Joseph R. (Franklin Lakes NJ)
출원인 / 주소
  • Kulite Semiconductor Products, Inc. (Ridgefield NJ 02)
인용정보 피인용 횟수 : 25  인용 특허 : 2

초록 ▼

A transducer structure is disclosed which comprises a single crystal semiconductor diaphragm dielectrically isolated by a layer of silicon dioxide from a single crystal gage configuration. The methods depicted employ high dose oxygen which is ion implanted into a monocrystalline wafer to form a buri

대표청구항 ▼

A semiconductor pressure transducer comprising; a layer of single crystal silicon isolated from a substrate layer of single crystal silicon by an intermediate layer of silicon dioxide implanted beneath the top surface of said single crystal layer and at least one single crystal gage configuration fo

이 특허에 인용된 특허 (2) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Jaffe James M. (Southfield MI) Seto John Y. W. (Warren MI), Polycrystalline silicon pressure transducer.
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  2. Gragg ; Jr. John E. (Paradise Valley AZ), Silicon pressure sensor.
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이 특허를 인용한 특허 (25) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Frick, Roger L.; Willcox, Charles R., Capacitive pressure sensing with moving dielectric.
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  2. Kurtz,Anthony D.; Martin,Richard J., Combined temperature and pressure transducer incorporating connector keyway alignment and an alignment method.
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  3. Fang, Yean-Kuen; Ju, Ming-Shanng; Ho, Jyh-Jier; Chen, Gin-Shin; Hsieh, Ming-Chun; Ting, Shyh-Fann; Yang, Chung-Hsien, Contact type micro piezoresistive shear-stress sensor.
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  4. Frick Roger L. ; Louwagie Bennett L. ; Toy Adrian C., Elongated pressure sensor for a pressure transmitter.
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  5. Tsukada Kouji,JPX ; Morikawa Takeshi,JPX ; Nonomura Yutaka,JPX ; Tokumitsu Sanae,JPX ; Takeuchi Masaharu,JPX ; Kawaguchi Kazuyoshi,JPX, Force transducer and method of fabrication thereof.
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  6. Romo, Mark G.; Rud, Jr., Stanley E.; Lutz, Mark A.; Sittler, Fred C.; Toy, Adrian C., Grain growth of electrical interconnection for microelectromechanical systems (MEMS).
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  7. Kurtz,Anthony D.; Goodman,Scott, Low cost pressure sensor for measuring oxygen pressure.
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  8. Diem Bernard,FRX ; Viollet-Bosson Sylvie,FRX ; Touret Patricia,FRX, Manufacturing process of strain gauge sensor using the piezoresistive effect.
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  9. Barth Phillip W. (Palo Alto CA) Petersen Kurt E. (San Jose CA), Mechanical sensor for high temperature environments.
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  10. Suminto, James Tjanmeng; Yunus, Mohammad, Media-compatible electrically isolated pressure sensor for high temperature applications.
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  11. Suminto, James Tjanmeng; Yunus, Mohammad, Media-compatible electrically isolated pressure sensor for high temperature applications.
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  12. Suminto, James Tjanmeng; Yunus, Mohammad, Media-compatible electrically isolated pressure sensor for high temperature applications.
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  13. Lutz, Mark A.; Frick, Roger; Sittler, Fred C.; Toy, Adrian C., Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor.
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  14. Yoder Douglas J. (Sharpsville IN) Brown Ronald E. (Kokomo IN) Stevenson Paul E. (Kokomo IN) Hornback Donald L. (Kokomo IN) Leisure Ronald K. (Kokomo IN), Monolithic pressure sensitive integrated circuit.
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  15. Yoder Douglas J. (Sharpsville IN) Brown Ronald E. (Kokomo IN) Stevenson Paul E. (Kokomo IN) Hornback Donald L. (Kokomo IN) Leisure Ronald K. (Kokomo IN), Monolithic pressure sensitive integrated circuit.
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  16. Aagard Roger L. (Prior Lake MN), Piezoresistive pressure sensor.
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  17. Luettgen Michael J. (Madison WI) Koglin Dennis M. (Kokomo IN) Kearney Mark B. (Kokomo IN) Hart ; Jr. John M. (Kokomo IN) Brown Ronald E. (Kokomo IN), Pressure sensor and method of fabrication thereof.
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  18. Sittler, Fred C.; Nord, Christina A.; Romo, Mark G., Pressure sensor assembly.
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  19. Sittler, Fred C., Pressure sensor capsule with improved isolation.
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  20. Frick Roger L. ; Louwagie Bennett L. ; Toy Adrian C., Pressure sensor cavity etched with hot POCL.sub.3 gas.
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  21. Fred C. Sittler ; Roger Frick, Pressure sensor for a pressure transmitter.
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  22. Jain Kailash C. (Sterling Heights MI) MacIver Bernard A. (Lathrup Village MI), Process for forming in a silicon oxide layer a portion with vertical side walls.
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  23. Dangtran, John; Horton, Roger, Sensor device packaging.
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  24. Gravel, James L.; Sittler, Fred C.; Broden, David A., Sensor with fluid isolation barrier.
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  25. Frick Roger L. ; Louwagie Bennett L. ; Toy Adrian C., Sintered pressure sensor for a pressure transmitter.
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