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특허 상세정보

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Wafer handling mechanism

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B25J-003/00   
미국특허분류(USC) 414/217 ; 198/339 ; 198/488 ; 198/653
출원번호 US-0378689 (1982-05-17)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 25  인용 특허 : 1
초록
▼

Disclosed is a wafer handling device for a sputtering system where wafers, used in the manufacture of integrated circuits, are placed in a loading chamber, removed from the loading chamber and conveyed by a conveying device through a transportation chamber where they are individually picked from the conveying device by the wafer handling device and placed on a rotating table within the system sputtering chamber to be sputter processed. Concurrently within the placing of one unprocessed wafer on the rotating table, a processed wafer is picked from the rot...

대표
청구항
▼

In a system for processing wafers to be used in the manufacture of integrated circuits, a wafer handling system comprising, a first chamber from which the wafers are removed for processing and where the wafers are returned after processing, transporting means in a second chamber for transporting wafers removed from said first chamber toward a third chamber for processing, and means in said second chamber for lifting said wafers from said transporting means and placing said wafers in said third chamber, said means in said second chamber also capable of li...

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Hassan Javathu K. (Hopewell Junction NY) Mack Alfred (Poughkeepsie NY) Wojtaszek Michael R. (Poughkeepsie NY). Method and apparatus for handling workpieces. USP1976073968885.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 25

  1. Prentakis Antonios E. (Cambridge MA). Apparatus and method for loading and unloading wafers. USP1988104775281.
  2. Yamauchi Shunji (Fukuoka JPX) Tanaka Minoru (Fukuoka JPX) Sakamoto Kenitiro (Fukuoka JPX) Morita Yutaka (Fukuoka JPX) Kidera Toru (Fukuoka JPX) Mieda Hiroki (Fukuoka JPX). Apparatus for producing semiconductor device. USP1990064934920.
  3. Kasai Kazumi (Atsugi JPX) Itoh Hiromi (Kawasaki JPX) Tanaka Hitoshi (Sagamihara JPX) Oh-hori Tatsuya (Sagamihara JPX) Komeno Junji (Fujisawa JPX). Apparatus of metal organic chemical vapor deposition for growing epitaxial layer of compound semiconductor. USP1989114883020.
  4. Petz Andreas (Bruchkoebel DEX) Costescu Dan (Hainburg DEX). Apparatus on the carousel principle for the coating of substrates. USP1990114969790.
  5. Gale Ronald P. (Sharon MA) Fan John C. C. (Chestnut Hill MA). Chemical vapor deposition reactor. USP1989064839145.
  6. Mori, Noriaki. Conveyor mechanism for thin plate. USP198605H000067.
  7. Downs, Robert Charles; Weselak, Mark Richard. Gripper mechanism. USP2003076592324.
  8. Downs,Robert Charles; Weselak,Mark Richard; Mainquist,James Kevin. Gripping mechanisms, apparatus and methods. USP2008097422411.
  9. Downs, Robert Charles; Weselak, Mark Richard; Mainquist, James Kevin. Gripping mechanisms, apparatus, and methods. USP2005086932557.
  10. Burow,Kristina Marie; Caldwell,Jeremy S.; Downs,Robert Charles; Lesley,Scott Allan; Mainquist,James Kevin; Meyer,Andrew J.; Sipes,Daniel G.; Weselak,Mark Richard. High throughput processing system and method of using. USP2008067390458.
  11. Toro Lira Guillermo L. (Mountain View CA) Jensen Earl M. (San Jose CA). Integrated circuit wafer handling system. USP1986084604020.
  12. Eror Miroslav (Old Tappan NJ) Biehl Richard E. (Pearl River NY). Method and apparatus for handling and processing wafer-like materials. USP1990044915564.
  13. Hurwitt Steven D. (Park Ridge NJ) Eror Miroslav (Old Tappan NJ) Biehl Richard E. (Pearl River NY). Method and apparatus for handling and processing wafer-like materials. USP1990034909695.
  14. Kaun Robert H. ; Peterson David J.. Method and apparatus for six-sided vacuum painting of parts. USP2000016013135.
  15. Wooding Michael J. (Sunnyvale CA) Cardema Rudolfo S. (San Jose CA) Ramiller Charles L. (Santa Clara CA). Method and system for loading wafers. USP1989124886412.
  16. Rubin Richard H. (Fairfield NJ) Petrone Benjamin J. (Netcong NJ) Heim Richard C. (Mountain View CA) Pawenski Scott M. (Wappingers Falls NY). Modular processing apparatus for processing semiconductor wafers. USP1988024722298.
  17. Kamei Mitsuhiro,JPX ; Setoyama Eiji,JPX ; Umehara Satoshi,JPX. Multi-chamber sputtering apparatus. USP1998075783055.
  18. Rubin Richard H. (West Paterson NJ) Hillman Gary (Livingston NJ) Zarr Lewis E. (Sparta NJ) Hayes William K. (Parsippany NJ). Process apparatus and method and elevator mechanism for use in connection therewith. USP1987084685852.
  19. Kakehi Yutaka (Hikari JPX). Semiconductor substrate transport system. USP1987054664578.
  20. Warenback Douglas H. (San Rafael CA) Hoog Josef T. (Novato CA). Spatula for wafer transport. USP1989094867631.
  21. Takahashi Nobuyuki (Tokyo JPX). Substrate processing apparatus. USP1987064674621.
  22. Ouellet Luc,CAX ; Tremblay Yves,CAX ; Gendron Luc,CAX. Substrate processing apparatus with non-evaporable getter pump. USP1999085935395.
  23. Begin Robert George ; Clarke Peter J.. System for and method of providing a controlled deposition on wafers. USP2000076083357.
  24. Wirz Gustav (Berg CHX). Transmission arrangement, in particular a maltese transmission arrangement. USP1990074938653.
  25. Christensen Richard G. (Pine Plains NY) Mack Alfred (Poughkeepsie NY). Wafer transfer apparatus. USP1991035000652.

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