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Negative ion source 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01J-027/00
출원번호 US-0405963 (1982-08-06)
발명자 / 주소
  • Leung Ka-Ngo (Hercules CA) Ehlers Kenneth W. (Alamo CA)
출원인 / 주소
  • The United States of America as represented by the United States Department of Energy (Washington DC 06)
인용정보 피인용 횟수 : 18  인용 특허 : 4

초록

An ionization vessel is divided into an ionizing zone and an extraction zone by a magnetic filter. The magnetic filter prevents high-energy electrons from crossing from the ionizing zone to the extraction zone. A small positive voltage impressed on a plasma grid, located adjacent an extraction grid,

대표청구항

A negative ion source for ionizing neutral molecules and atoms, comprising; a vessel having a chamber formed therein, said vessel having a portion thereof forming an anode for an electron discharge; means for injecting molecules and atoms to be ionized into said vessel; discharge means forming a cat

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Dagenhart William K. (Oak Ridge TN) Stirling William L. (Oak Ridge TN), Electron energy recovery system for negative ion sources.
  2. Limpaecher Rudolf (45 Parsonage La. Topsfield MA 01983), Multicusp plasma containment apparatus.
  3. Hershcovitch, Ady; Prelec, Krsto, Negative ion source with hollow cathode discharge plasma.
  4. Ehlers Kenneth W. (Alamo CA), Plasma generating device with hairpin-shaped cathode filaments.

이 특허를 인용한 특허 (18)

  1. Ichiki,Katsunori; Shibata,Akio; Fukuda,Akira; Hiyama,Hirokuni; Yamauchi,Kazuo; Samukawa,Seiji, Beam source and beam processing apparatus.
  2. Ichiki,Katsunori; Yamauchi,Kazuo; Hiyama,Hirokuni; Samukawa,Seiji, Etching method and apparatus.
  3. Leung, Ka-Ngo; Lou, Tak Pui; Barletta, William A., Gamma source for active interrogation.
  4. Santo, Mike; Safar, Hugo, Gas dispersion disc assembly.
  5. Brailove Adam A. ; Sato Masateru,JPX, Ion source having wide output current operating range.
  6. Hieke, Andreas, Laser desorption ionization ion source with charge injection.
  7. Brailove Adam A., Magnetic filter for ion source.
  8. Kuninaka,Hitoshi; Yamagiwa,Yoshiki, Method for observing high-altitude neutral air and device for observing high-altitude neutral air.
  9. Brailove Adam A. ; Gwinn Matthew Charles, Multi-cusp ion source.
  10. Delmore James E. (Idaho Falls ID), Negative ion source.
  11. Verney Marthe B. (Paris FRX) Doucet Henri J. (Les Molires FRX), Negative ion source.
  12. Kornfeld, Günter; Schwertfeger, Werner, Plasma accelarator arrangement.
  13. King Michael C. ; Blake Julian G. ; Rose Peter H., Plasma chamber for controlling ion dosage in ion implantation.
  14. Pamfiloff, Eugene B., Process for the extraction of electrons from atoms and molecules, the production of positive and negative ions and the composition and decomposition of molecules.
  15. Hershcovitch Ady (Mount Sinai NY), Production of intense negative hydrogen beams with polarized nuclei by selective neutralization of negative ions.
  16. Smith, Noel S.; Boswell, Roderick W.; Tesch, Paul P.; Martin, Noel P., RF system, magnetic filter, and high voltage isolation for an inductively coupled plasma ion source.
  17. Purser,Kenneth H.; Litherland,Albert E.; Turner,Norman L., Resonance method for production of intense low-impurity ion beams of atoms and molecules.
  18. Leung, Ka-Ngo; Ehlers, Kenneth W.; Hiskes, John R., Three chamber negative ion source.
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