[특허]Extrinsic infrared detector with a charge reset function

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Extrinsic infrared detector with a charge reset function

특허상세정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01L-027/14 H01L-031/00 H01L-029/78 H01L-029/12
미국특허분류(USC)	357/30 ; 357/24 ; 357/58
출원번호	US-0357866 (1982-03-15)
발명자 / 주소	Levine Michael A. (383 Sycamore Pl. Sierra Madre CA 91024)
인용정보	피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 4

초록
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A preferred embodiment of the invention is a three-gate charge-coupled device (CCD) which is designed to operate at cryogenic temperatures (circa 1-20°K). For an N channel device, a low-concentration N type material is separated from a P type substrate by a thin layer of intrinsic material. The active detection area is underneath a transparent detector gate which functions as the device\s input gate. Electrons excited into the conduction band under the detector gate flow into the conduction band under the adjoining second gate which functions as an integrating gate by collecting the electrons that flow from under the input gate. The third gate also adjoins the second gate and is called the readout gate. When the readout gate is at a low potential, it dams up the electrons in the conduction band under the integrate gate. When the readout gate is at a potential at least as high as that of the integrate gate, the electrons may flow into a drain which adjoins the readout gate provided that the drain is at a potential higher than that of the readout gate; otherwise, electrons may flow from the drain into the conduction band underneath all three gates if the drain has the lowest potential of the four. Such a device may be constructed as a monolithic two-dimensional array with the drains extending in the Y-direction and the gates extending in the X-direction. Electrons lost by absorption of photons may thus be replaced.

대표
청구항
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An extrinsic photon detector device comprising: a semiconductor substrate of a first conductivity type; a first layer of semiconductor material of a second conductivity type above said substrate; drain means defined within said first layer of semiconductor material of said second conductivity type, an active device region defined within said first layer of semiconductor material, said active device region comprising a detector portion and an integrating portion; impurities of said second conductivity type extending throughout said detector portion for absorbing photons having predetermined wavelength characteristics in the infrared; a first gate electrode above said detector portion of said active device region and separated therefrom by a dielectric material; a second gate electrode above said integrating portion of said active device region and separated therefrom by a dielectric material, said second gate electrode being adjacent to said first gate electrode; a third region defined within said first layer of semiconductor material and located between said active device region and said drain means; third gate means associated with said third region for altering the potential of at least a portion of said third region relative to said substrate in response to an externally applied voltage potential; means for varying the voltage potentials applied to said first gate electrode, to said second gate electrode, to said third gate means, and to said drain means relative to that of said substrate to cause carriers resulting from the absorption of photons in said detector portion to be collected in said integrating portion during an integrating stage of operation of said detector device and then to be transferred to said drain means via said third region during a readout stage of operation, and also to cause replenishment carriers from said drain means to flow via said third region into said active device region during a fill stage of operation and to neutralize any photo-induced space charge in said active device region resulting from said integrating and read-out stages and any excess of said replenishment carriers to be drained off during a spill stage of operation, said fill and spill stages together constituting a charge reset function to facilitate a subsequent said integrating stage.

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