[특허]Capacitive pressure transducer

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01G-007/00 G01L-009/12
출원번호	US-0562627 (1983-12-19)
발명자 / 주소	Moffatt E. Marston (Glastonbury CT)
출원인 / 주소	United Technologies Corporation (Hartford CT 02)
인용정보	피인용 횟수 : 45 인용 특허 : 2

초록 ▼

The flexible membrane for sensing a differential pressure in a cylindrical sensor is made from a tube with heavy end rings that gradually taper down to form a flexible membrane such that stresses from membrane flexions are distributed throughout the end rings to prevent the stresses from being transmitted to the joints between the tube and its supporting structure thereby reducing hysteresis and creep deformation effects; temperature and stray capacitance effects are minimized by using the capacitive sensor in a tank circuit having an inductor integral to the transducer structure, the tank circuit oscillating at its resonant frequency for use in indicating the differential pressure.

대표청구항 ▼

A capacitive pressure transducer comprising: outer cylinder means, having open ends and having a flexible membranous cylindrical wall, said wall having an electrically conductive layer on its inner surface to form a first capacitor plate; inner cylinder means, concentrically mounted within said outer cylinder means, having rigid walls with an electrically conductive layer on the outer surface to form a second capacitor plate, said inner cylinder mating with said outer cylinder such that a sealed first annular chamber is formed between said first capacitor plate and said second capacitor plate, said inner chamber being sealed at its ends to form an inner chamber therewithin for containing a gas under an inner chamber pressure, said annular chamber communicating with said inner chamber through a perforation in the wall of said inner cylinder such that said first annular chamber and said inner chamber are at the same pressure; inductor means, integral to the inner wall of said inner cylinder means and having the form of a cylindrical helix; and housing cylinder means, having said inner and outer cylinders mounted concentrically therein thereby forming a second annular chamber between the outer walls of said outer cylinder and the inner walls of said housing cylinder and having means for introducing a gas under a variable pressure higher than said inner chamber pressure into said second annular chamber thereby exposing said outer wall of said outer cylinder to a variable outer pressure higher than said inner chamber pressure, said outer pressure causing said membrane to deflect towards said rigid wall such that the distance between said first capacitor plate and said second capacitor plate is decreased according to the difference between said inner chamber pressure and said variable outer pressure thereby varying the capacitance between said plates in proportion to said difference.

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IPC	Description
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