[특허]Polymeric film coating method with continuous deposition pressure control

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Polymeric film coating method with continuous deposition pressure control 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B05D-005/12
출원번호	US-0604968 (1984-04-27)
발명자 / 주소	Riley Thomas J. (905 Richmar Dr. Westlake OH 44145)
인용정보	피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 5

초록 ▼

Method and apparatus are disclosed for coating substrates with a film polymer based on p-xylylene by vapor-phase polymerization. The apparatus monitors the monomer vapor pressure after pyrolization of the cyclic di-p-xylylene dimer, compares the measured pressure to a predetermined pressure needed to effect a completed vapor-phase polymerization reaction, and adjusts the temperature of vaporization in response to variations between measured pressure and the predetermined pressure.

대표청구항 ▼

In a method of coating substrates with polymer film based on p-xylylene which includes vaporizing di-p-xylylene dimer, pyrolizing the vaporized dimer to the monomeric diradicals, and depositing the film by vapor-phase polymerization of the monomer vapor, the improvement comprising the steps of continuously monitoring the pressure of the monomer vapor after pyrolization and continuously adjusting the vaporization rate of the p-xylylene into a dimer in response to the variations of actual pressure of the pyrolized monomer vapor from an optimum pressure to reduce variations between the measured and optimum pressure in order to produce a completed polymeric reaction in a minimum amount of time.

이 특허에 인용된 특허 (5)

Beach William F. (Bridgewater NJ) Mahoney Dennis M. (Long Valley NJ), Electrets.
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Toole Monte M. (Mill Valley CA) Klein Raphael (Los Altos CA), High-pressure, high-temperature gaseous chemical apparatus.
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Suzuki Takaya (Katsuta JPX) Inoue Yosuke (Tokaimura JPX) Aoyama Takashi (Hitachi JPX), Method for chemical vapor deposition.
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Heimbach Klaus-Jrgen (Hattersheim DEX) Zltzke Walter (Hanau DEX), Method for regulating the evaporation rate of oxidizable substances in reactive vacuum deposition.
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Jang Sei-Joo (Lawrence Township ; Mercer County NJ) Pohl Knut D. (Raritan Township ; Hunterdon County NJ) Saifi Mansoor A. (East Windsor Township ; Mercer County NJ), Methods and apparatus for fabricating a lightguide preform.
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이 특허를 인용한 특허 (11)

Jones Richard F. ; Henderson Michael, Composite dielectric coating for electrosurgical implements.
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Lee, Chung J.; Kumar, Atul, Composite polymer dielectric film.
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Olson Roger Allen ; Kopitzke ; III Frederick William ; O'Connor Joseph Patrick, Continuous vapor deposition apparatus.
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Moynihan Edward R. (Plainfield NH), Elimination of nucleation sites in pressure chamber for ink jet systems.
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Wary John ; Beach William F. ; Olson Roger A., Internally heated pyrolysis zone.
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Riley John A. (905 Richmar Dr. Westlake OH 44145), Method and apparatus for automated polymeric film coating.
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Wary John ; Beach William F. ; Olson Roger A., Parylene polymer layers.
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Massa Vincenzo (Busto Arsizio ITX) Cicuta Aldo (Novara ITX) Cavigiolo Walter (Novara ITX), Process for consolidating discontinuous-structured materials.
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Fiore Leonardo (Milan ITX) Cicuta Aldo (Novara ITX), Process for the adhesion of poly-p-xylylene to substrates by means of phosphoric acid ester primers.
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Lee,Chung J.; Kumar,Atul, Single and dual damascene techniques utilizing composite polymer dielectric film.
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Lee,Chung J.; Kumar,Atul; Chen,Chieh; Pikovsky,Yuri, System for forming composite polymer dielectric film.
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특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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